力敏傳感器是將應(yīng)力、壓力等力學(xué)量轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的轉(zhuǎn)換器件。
力敏傳感器有電阻式、電容式、電感式、壓電式和電流式等多種形式,它們各有優(yōu)缺點(diǎn)。
半導(dǎo)體壓力傳感器的主要技術(shù)性能:輸出3~20mV/V; 精度0.25%; 頻率0~ 5000Hz; 工作溫度-55~120攝氏度。這種傳感器的優(yōu)點(diǎn)是體積小、成本低,缺點(diǎn)是對(duì)濕度十分敏感。壓電式力敏傳感器的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高,工作溫度范圍寬(-70~250攝氏度),缺點(diǎn)是成本稍高。近年來(lái),壓電式力敏傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域和市場(chǎng)銷售額明顯擴(kuò)大。
力敏傳感器是用來(lái)檢測(cè)氣體、固體、液體等物質(zhì)間相互作用力的傳感器。常用材料有半導(dǎo)體、金屬及合成材料。常用的主要是硅壓阻式力敏傳感器和電容式力敏傳感器。硅壓力傳感器優(yōu)點(diǎn)是,靈敏度好、精度高、缺點(diǎn)是受溫度影響大。
編輯:黃飛
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