測試方法

真空模式和吸槍模式

真空模式下
氦氣最小檢測漏率

3.5X10-8mbar l/s 大漏模式
1X10-10mbar l/s 常規模式
5X10-12mbar l/s 高靈敏度模式

吸槍模式下
氦氣最小檢測漏率

1.5X10-8mbar l/s

檢測氣體

4He, 3He, H2

初檢壓力

18 mbar 大漏模式
1 mbar 常規模式
0.2mbar 高靈敏度模式

氦氣抽速

1.8 l/s 常規模式
6 l/s 高靈敏度模式

啟動時間

< 3 min

真空接口

DN 25 ISO-KF; DN 16 ISO-KF

Interface

RS-232, Ethernet, Profibus, USB

I/O interface

6 個數字輸入 (所配功能可設置）
3 個模擬輸出 (可配置: 氦信號記錄, 尾數, 指數, 吸氣壓力)
5 個繼電器輸出 (可配置的分配功能)
4 個晶體管 / 集電極開路輸出

尺寸: L × W × H

真空模塊 279 × 264 × 197 mm
電子模塊 216 × 317 × 111 mm
控制面板 241 × 54 × 133 mm

重量

真空模塊 15 kg; 電子模塊 5 kg; 控制面板 1.3 kg

通用電壓

90 – 240 V AC; 50/60 Hz

最大功耗

300 W

工作溫度

10 – 45 °C