Atonarp 質譜分析儀應用于沉積和刻蝕 3D NAND 存儲器
Aston?質譜分析儀應用于沉積和刻蝕 3D NAND 存儲器
3D NAND 工藝通過堆疊存儲單元, 提供更高的比特密度, 上海伯東日本 Atonarp Aston?質譜分析儀適用于先進半導體工藝（如沉積和蝕刻）所需的定量氣體分析. 沉積應用中: 實時過程氣體監控，以驅動自動化工具調整以實現過程控制, 沉積步驟之間的終點檢測, 實現層的化學計量工程; 蝕刻應用中: 以 ppb 為單位測量的工藝氣體和副產品, 啟用端點腔室清潔.
3D NAND 工藝概述
| 工藝步驟 |
| 堆疊沉積: 交替氧化物（藍色）和氮化物（綠色）薄膜沉積（每個堆疊 >200 對） | 通道蝕刻: 沉積硬掩模, 形成開口, 高縱橫比通道貫穿所有層（每個晶片>1 萬億個孔） | 階梯蝕刻: 字線的接觸焊盤是使用產生階梯結構的受控蝕刻來創建的. | |
| ASTON 優勢 | 均勻的厚度對電氣性能至關重要. Aston?質譜分析儀可實現厚度控制, 層定義和化學計量工程. | 高縱橫比通道孔需要從上到下完整且均勻, 沒有彎曲或扭曲. Aston?質譜能夠在腔內測量蝕刻反應物. |
蝕刻輪廓控制精度（埃）. 蝕刻深度能力（微米）. Aston?質譜儀通過動態測量化學物質來實現蝕刻 |
| 工藝步驟 |
| 狹縫蝕刻: 沉積硬掩模層, 形成硬開口圖案, 蝕刻狹縫以分離通道孔列. 這將創建一個存儲單元陣列. | 字線沉積: 在一些 3D NAND 方案中, 除去氮化物層, 然后使用由內向外的原子層沉積工藝（紫色）創建鎢字線. | 晶圓上最終 3D NAND 結構的橫截面 | |
| ASTON優勢 | Aston?質譜儀通過連續測量反應物來實現蝕刻的均勻性和精度. | 除去氮化層并填充鎢. Aston?質譜儀實現了分子水平的控制. |
來源: Lam Research: 3D NAND - Key Process Steps (2016) url: https://www.youtube.com/watch?v=hglK1cf3meM
Aston? 質譜儀優勢
ppb 級靈敏度的高速采樣
非常適合高縱橫比的 3D 結構
耐腐蝕性氣體, 堅固緊湊
易于集成到工具平臺中
沉積應用中: 實時過程氣體監控，以驅動自動化工具調整以實現過程控制, 沉積步驟之間的終點檢測, 實現層的化學計量工程
蝕刻應用中: 以 ppb 為單位測量的工藝氣體和副產品, 啟用端點腔室清潔
Atonarp Aston? 技術參數
| 類型 | Impact-300 | Impact-300DP | Plasma-200 | Plasma-200DP | Plasma-300 | Plasma-300DP |
| 型號 | AST3007 | AST3006 | AST3005 | AST3004 | AST3003 | AST3002 |
| 質量分離 | 四級桿 | |||||
| 真空系統 | 分子泵 |
分子泵 隔膜泵 |
分子泵 |
分子泵 隔膜泵 |
分子泵 |
分子泵 隔膜泵 |
| 檢測器 | FC /SEM | |||||
| 質量范圍 | 2-285 | 2-220 | 2-285 | |||
| 分辨率 | 0.8±0.2 | |||||
| 檢測限 | 0.1 PPM | |||||
| 工作溫度 | 15-35“℃ | |||||
| 功率 | 350 W | |||||
| 重量 | 15 kg | |||||
| 尺寸 | 299 x 218 x 331 LxWxH(mm) | 400 x 240 x 325 LxWxH(mm) |
若您需要進一步的了解 Atonarp Aston?在線質譜分析儀詳細信息或討論, 請聯絡
上海伯東版權所有, 翻拷必究
審核編輯黃宇
聲明：本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內容侵權或者其他違規問題，請聯系本站處理。
舉報投訴
-
分析儀
+關注
關注
0文章
1607瀏覽量
53044 -
NAND
+關注
關注
16文章
1719瀏覽量
137821 -
存儲器
+關注
關注
38文章
7636瀏覽量
166441 -
質譜
+關注
關注
0文章
21瀏覽量
9591
發布評論請先 登錄
相關推薦
熱點推薦
預期提前，鎧俠再次加速，3D NAND準備沖擊1000層
電子發燒友網報道（文/黃山明）近日，鎧俠再次宣布，將在2027年實現3D NAND的1000層堆疊，而此前鎧俠計劃是在2031年批量生產超1000層的3D NAND
USB微型頻譜分析儀模塊介紹
SYN5216型USB微型頻譜分析儀模塊是一種重要的電子測量儀器，用于測量信號的頻譜特性。它能夠將信號分解為頻率成分，并提供關于每個頻率成分的幅度和相位信息。頻譜分析儀廣泛應用于各個領
光頻譜分析儀的技術原理和應用場景
、生物醫學、材料科學等領域具有廣泛的應用前景。
光學設備測試：光學設備的性能往往與其光譜特性密切相關。光頻譜分析儀可以用于測試各種光學設備的性能，如激光器、光放大器、光衰減器等。通過測
發表于 03-07 15:01
是德頻譜分析儀的振動對測量的干擾
是德科技（Keysight Technologies）的頻譜分析儀以其高精度、寬頻帶和豐富的功能而聞名，廣泛應用于電子工程、通信、航空航天等領域。然而，在實際應用中，環境振動常常對測量結果造成顯著
掃頻式頻譜分析儀的技術原理和應用場景
。
掃頻式頻譜分析儀的應用場景掃頻式頻譜分析儀廣泛應用于無線電技術的各個領域，其典型應用場景包括：
電子對抗：在電子對抗中，掃頻式頻譜分析儀可用于
發表于 02-14 14:16
usb微型實時頻譜分析儀功能特點
關鍵詞：usb微型頻譜分析儀，頻譜分析儀模塊，實時頻譜分析儀 ? ? ? ?usb微型實時頻譜分析儀因其體積小巧方便攜帶廣泛應用于無線電技術
惠普HP8560E 頻譜分析儀
系列把杰出的相位噪聲、靈敏度、1Hz的分辨帶寬和大的動態范圍等功能組合在一個堅固的3類**機箱中，從而使之能適應惡劣的環境條件。 適用于RF通信的功能 對現今無線電話，尋呼機和其它發射機的鄰近信道功率(ACP)進行測量的能力，是研制和生產過程中最重要的一環。8560E系列
【半導體存儲】關于NAND Flash的一些小知識
。
[]()
NAND Flash 存儲單元尺寸更小，存儲密度更高，單位容量成本更低，塊擦/寫速度快， 具有更長的壽命，多應用于大容量數據存儲
發表于 12-17 17:34
如何使用頻譜分析儀進行信號測量
頻譜分析儀的基本原理 頻譜分析儀通過將輸入信號與一系列已知頻率的參考信號進行比較，來確定信號中各個頻率成分的幅度和相位。這個過程通常涉及混頻、濾波和檢測等步驟。 準備工作 了解信號特性 ：在進行測量
頻譜分析儀與信號分析儀的區別
成分的儀器。它通過將輸入信號與本地振蕩器產生的信號進行混頻，將信號轉換到中頻，然后使用濾波器和檢波器來測量不同頻率成分的幅度。頻譜分析儀主要用于
頻譜分析儀的工作原理 頻譜分析儀的應用領域
頻譜分析儀是一種用于測量信號頻率成分的儀器，它能夠顯示信號的頻譜，即不同頻率成分的幅度。以下是頻譜分析儀的基本工作原理： 輸入信號 ：首先，待測信號被輸入到頻譜分析儀中。 調制過程 ：
Keysight 頻譜分析儀（信號分析儀）
Keysight頻譜分析儀（信號分析儀）足夠的性能和卓越的可靠性，幫助您更輕松、更快速地應對常見的射頻-微波測試測量挑戰。可靠的頻譜分析儀和信號分析儀提供準確可信的測量結果無論您是要在
光譜分析儀數據怎么看
光譜分析儀是一種用于測量物質成分和結構的儀器，廣泛應用于化學、物理、生物、材料科學等領域。光譜分析儀通過測量物質對不同波長光的吸收、發射或散射特性，來
工商網監
評論