10.3.5 碳納米管（CNT）∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書(shū)》
Carbon Nanotube（CNT）
審稿人：北京大學(xué) 傅云義
https://www.pku.edu.cn
審稿人：北京大學(xué) 張興 蔡一茂
https://www.pku.edu.cn
10.3 集成電路新材料
第10章 集成電路基礎(chǔ)研究與前沿技術(shù)發(fā)展
《集成電路產(chǎn)業(yè)全書(shū)》下冊(cè)
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集成電路
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發(fā)表于 04-21 16:33
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數(shù)值孔徑 EUV 光刻中的微型化挑戰(zhàn) 晶體管不斷小型化，縮小至 3 納米及以下，這需要完美的執(zhí)行和制造。在整個(gè) 21 世紀(jì)，這種令人難以置信的縮小趨勢(shì)（從 90 納米到 7 納米及更小
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