我們專注于半導體量測分析設備的研發、生產和服務。l攻克關鍵核心技術,為晶圓、晶錠、硅材料、碳化硅等材料的生產和品質監控提供一整套完整測試和解決方案,助力半導體相關產業發展。l產品廣泛應用于半導體、光伏、科研以及平板材料測試領域。
<1> 渦流法電阻率分析儀(晶錠和晶片),應用于半導體Wafer及Ingot的電阻率分析;
<2> 渦流法電阻率探頭(晶錠和晶片),應用于光伏、太陽能Si片的檢測;
<3> SPV法PN探頭,應用于光伏、太陽能Si片的檢測;
<4> 電容法厚度探頭,應用于Wafer的厚度測量,分辨率0.1μm;
<5> 遷移率(霍爾)測試儀,應用于載流子遷移率及載流子濃度的測量;
<6> JPV法薄膜方阻探頭及分析系統,應用于電池片方阻測量;
<7> 半自動Wafer電阻率、厚度、PN、溫度分析系統(解決樣片翹曲度影響)。
審核編輯黃宇
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