隨著 “中國制造”向高質(zhì)量、高性能、高精密發(fā)展吹起號角,半導(dǎo)體、光學(xué)、3C制造、新材料、精度加工、醫(yī)療、航空航天、新能源等高端產(chǎn)業(yè)相繼得到重點投資和扶持,推動國產(chǎn)制造“高端化”已成為未來5-10年的發(fā)展基調(diào)。
伴隨這些產(chǎn)業(yè)技術(shù)的不斷突破,各種新材料、新器件、新工藝在高校、實驗室、行業(yè)企業(yè)不斷涌現(xiàn)。
如何對這些樣品實現(xiàn)便捷、高效的測量測試成為需要解決的問題。
當前測試困境
以往,高校、實驗室、行業(yè)企業(yè)客戶以委外測量方式為主。在客戶(尤其是企業(yè)客戶)出現(xiàn)大量測量件時,需要在短時間內(nèi)緊急完成測樣時,委外測試存在無法滿足大批量測量需求的問題,如某晶圓代工廠大批量來料后需要緊急測量樣品的表面粗糙度是否合格;客戶的新工藝、新材料出現(xiàn)后勢必對測量技術(shù)有更高的要求,委外測量存在技術(shù)及設(shè)備難以跟上的問題,如某高校新型薄膜材料樣品的表面膜厚檢測,測量精度要求達到納米級,并要求不受樣品表面高反光影響;多批次委外測樣,委外測量設(shè)備或數(shù)據(jù)未必能保證一致,影響客戶后續(xù)研發(fā)、生產(chǎn)的調(diào)試調(diào)節(jié)。
優(yōu)可測的測試服務(wù)
優(yōu)可測的白光干涉儀測試提供小批量免費測樣服務(wù),測樣時間周期可控,專人對接。優(yōu)可測白光干涉儀具備高精度、高速度、可定制、大角度特性的優(yōu)勢,測樣速度快、效率高,滿足復(fù)雜測量需求下的樣品測樣。
優(yōu)可測的產(chǎn)品優(yōu)勢
1.精確捕捉,超高精度微觀3D形貌的能力
優(yōu)可測白光干涉儀測試可用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級別測量,高達0.03nm的測量精度可對各種新型高精度工藝器件樣品的微觀表面3D形貌進行精確還原
2.超高速,極大提高測量效率,可用于自動化產(chǎn)線
測量速度以秒級計算,開啟一鍵測量模式,可滿足大批量產(chǎn)品抽樣檢測,以及可定制到自動化產(chǎn)線,滿足在線測量需求。
3.滿足新型材料的復(fù)雜測量
優(yōu)可測白光干涉儀可測量低至0.02%反射率的高透明新型材料產(chǎn)品,輕松采集信息。超越傳統(tǒng)的極大角度特性,光滑面角度特性最高53°,局部剖面傾角可達90°,對樣品的R角具備優(yōu)秀測量能力。
4.測量不同樣品數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性
對不同批次不同材料的樣品,具備測量的高穩(wěn)定性,RMS重復(fù)性最高可達0.002nm。
審核編輯黃宇
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