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飛利浦高精度微組裝平臺:Flex-to-rigid(F2R)

MEMS ? 來源:MEMS ? 2023-05-04 09:10 ? 次閱讀

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,荷蘭飛利浦工程解決方案(Philips Engineering Solutions)近日發(fā)布了Flex-to-rigid(F2R)平臺,利用高度柔性且超薄的電氣連接,通過集成電路(IC)技術(shù)構(gòu)建任意3D形狀的微器件或模塊。

類似折紙微組裝

F2R是一種高精度的微組裝平臺,包括具有嵌入式電氣連接的柔性聚合物互連。由此,可以利用IC技術(shù)以極小的尺寸構(gòu)建幾乎任意3D形狀。

F2R平臺由飛利浦MEMS代工廠開發(fā),以為智能導(dǎo)管和導(dǎo)絲的尖端提供復(fù)雜的電子成像功能。不過,F(xiàn)2R同樣適用于集成多個(gè)電子元件的許多其他應(yīng)用。

F2R平臺如何實(shí)現(xiàn)

F2R平臺始于晶圓級的普通硅工藝,具有功能元件的任意形狀的微型硅島通過能夠彎曲的柔性、超薄電聚合物互連。這些互連在晶圓加工階段構(gòu)建。因此,F(xiàn)2R取代了多個(gè)組裝步驟,以及其相應(yīng)的成本和風(fēng)險(xiǎn)。

極致的柔性以及微米級的精度,使得F2R平臺優(yōu)勢明顯,或?qū)⒔K結(jié)標(biāo)準(zhǔn)的柔性箔技術(shù)。

為3D形狀的微型化提供機(jī)遇

F2R平臺為很多微型化挑戰(zhàn)提供了解決方案。由于其柔性互連相比現(xiàn)有互連技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)的最薄柔性器件還要薄5到10倍,因而支持高密度布線。

由此,F(xiàn)2R平臺能夠?qū)崿F(xiàn)可用晶圓空間的創(chuàng)造性利用。用戶可以考慮所有類型的3D形狀,制造更小的硅島,使更小的智能導(dǎo)管擁有更多、更好的功能。即使面對復(fù)雜的微制造器件,例如需要集成多個(gè)傳感器的電子藥丸,也可以利用F2R技術(shù)。

F2R平臺應(yīng)用

F2R是體內(nèi)/體表設(shè)備的最佳解決方案。對于微型化、設(shè)備功能及性能都至關(guān)重要的應(yīng)用,F(xiàn)2R平臺提供了答案。F2R可以應(yīng)對很多互連挑戰(zhàn),以及非常微型化的集成需求,例如折疊甚至卷曲的形狀。

CMUT換能器

對于CMUT換能器應(yīng)用,F(xiàn)2R平臺可以讓傳感器和集成無源器件集成到硅島上,無需進(jìn)一步組裝。





審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:飛利浦高精度微組裝平臺:Flex-to-rigid(F2R)

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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