激光功率計(jì)是用來(lái)測(cè)試連續(xù)激光的功率或者脈沖激光在某一段時(shí)間的平均功率的儀器。常用到激光能量計(jì),用來(lái)探測(cè)重復(fù)脈沖激光的單發(fā)能量和單脈沖激光的能量。Ophir 的熱電堆型激光功率計(jì)通過(guò)熱電堆結(jié)構(gòu)將光能轉(zhuǎn)換成熱量,再轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,通過(guò)校準(zhǔn)來(lái)精確測(cè)量激光功率的大小。
激光功率計(jì)一般由探頭和顯示設(shè)備組成,激光功率計(jì)探頭按照不同的原理和材料分為熱電堆型(thermal)、光電二極管型(PD:Photodiode)、以及包含兩種傳感器的綜合探頭(RP),激光能量計(jì)則有熱釋電傳感器(PE:Pyroelectric)和熱電堆(Thermal)傳感器探頭。
激光探頭是一個(gè)涂有熱電材料的吸收體,熱電材料吸收大部分的光能量并轉(zhuǎn)化成熱量,只有少部分反射。吸收與反射比例與材料的光譜響應(yīng)曲線有關(guān),吸收體的儲(chǔ)熱體和它的厚度決定了熱量傳輸?shù)教筋^的速度和反應(yīng)時(shí)間。探頭溫度變化,能夠產(chǎn)生電流,電流通過(guò)薄片環(huán)形電阻轉(zhuǎn)變成電壓信號(hào)傳輸出來(lái)。
功率計(jì)標(biāo)定的目的,是校準(zhǔn)自身測(cè)量精度,保證測(cè)量數(shù)值在功率計(jì)使用報(bào)告的誤差范圍內(nèi),從而保證功率計(jì)正常的使用精度。功率計(jì)標(biāo)定采用第三方功率計(jì)來(lái)測(cè)量,根據(jù)出廠標(biāo)定報(bào)告,采用不同的功率,在不損壞功率計(jì)的前提下,檢驗(yàn)功率計(jì)實(shí)際標(biāo)定的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
功率測(cè)量,是考慮系統(tǒng)和隨機(jī)誤差基礎(chǔ)上,獲取功率真實(shí)值的一個(gè)過(guò)程,存在一定的功率不確定性。對(duì)于功率測(cè)量,存在兩種功率,一種是準(zhǔn)確度,即實(shí)測(cè)值與真實(shí)值之間的偏差;另一種是功率穩(wěn)定性,即反復(fù)同一條件測(cè)量的功率波動(dòng)范圍。
激光功率和能量計(jì)主要用來(lái)測(cè)量光源的輸出。無(wú)論光發(fā)射是來(lái)源于弱光源(如熒光),還是來(lái)源于高能量的脈沖激光器,功率和能量計(jì)都是實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)部門(mén)或是工作現(xiàn)場(chǎng)等多種應(yīng)用環(huán)境中必不可少的工具。
雖然功率計(jì)和能量計(jì)是分別提供的,但隨著能夠適用大量不同類(lèi)型的光學(xué)傳感器的通用型儀表盤(pán)或顯示裝置的發(fā)展,它們也被合起來(lái)稱(chēng)作單獨(dú)的一類(lèi)儀器——功率和能量計(jì),或PEM。儀器所采用的光學(xué)傳感器的類(lèi)型,決定了其能測(cè)量光功率還是光能量,通常單位分別瓦特(W)或焦耳(J)。
具體來(lái)講,功率計(jì)能夠測(cè)量連續(xù)波(CW)或者重復(fù)脈沖光源,其所使用的傳感器通常是熱電堆或光電二極管。能量計(jì)則通常用于測(cè)量脈沖激光,即單脈沖或者重復(fù)脈沖光源,其所使用的傳感器包括熱釋電、熱電堆,或者帶有專(zhuān)門(mén)為測(cè)量脈沖光源而設(shè)計(jì)的電路的光電二極管。
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