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變革傳統(tǒng)光學(xué)元件,超構(gòu)透鏡加速商業(yè)化

MEMS ? 來源:麥姆斯咨詢 ? 2023-03-02 11:22 ? 次閱讀

在巴黎盧浮宮博物館展出的古埃及“書記官坐像(Seated Scribe)”是一尊石灰石彩繪雕像,高53.7厘米,是埃及古王國時期雕刻藝術(shù)的最高水平代表之一?!皶浌佟毕蛲饽暎谒壬蠑傞_著一卷紙莎草書,像是隨時準(zhǔn)備做記錄。這座雕塑看起來就像4500年前剛埋入撒哈拉沙漠時一樣栩栩如生。

不過,該雕像最引人注目的是書記官的眼睛。它們可以說是最原始的鏡片,由透明石英雕刻而成,然后與其它材料組裝在一起復(fù)制人眼的外觀,包括著色、虹膜和瞳孔。古埃及的這尊雕像以及其它相似雕像如此生動,以至于當(dāng)圍觀者在雕像周圍走動時,雕像的眼神似乎會跟著轉(zhuǎn)動。

這座書記官雕像的眼睛展示了古埃及的科技、殯葬藝術(shù)和人體解剖學(xué)知識在久遠(yuǎn)的那個年代就有如此造詣,他們制造了第一個產(chǎn)生光學(xué)效果的透明鏡片。第一批已知的鏡片(切割并拋光的黑曜石)甚至可以追溯到8000年前。

如今,玻璃鏡片無處不在,它們對于文檔掃描或手機(jī)拍照等任務(wù)至關(guān)重要;巨型望遠(yuǎn)鏡中應(yīng)用了先進(jìn)的光學(xué)玻璃和反射鏡對宇宙進(jìn)行成像;醫(yī)生還使用可以看到身體內(nèi)部的微型相機(jī)鏡頭來提供先進(jìn)的醫(yī)療診斷。

預(yù)計(jì)到2028年,玻璃光學(xué)行業(yè)的全球市場規(guī)模將達(dá)到250億美元以上。該行業(yè)需要訓(xùn)練有素的專業(yè)技術(shù)人員利用先進(jìn)的軟件和硬件來生產(chǎn)光學(xué)元件。利用這些光學(xué)元件可以幫助我們看到所有能夠看到一切。

據(jù)麥姆斯咨詢介紹,光學(xué)元件制造的一場新革命已經(jīng)到來,或?qū)⒊蔀槔^玻璃之后的第二個重要突破。那便是超構(gòu)透鏡(Metalens),它們由亞波長納米結(jié)構(gòu)或納米鰭(nanofin)組成排列在圖像傳感器表面上,其成像品質(zhì)逐漸接近最先進(jìn)的商業(yè)透鏡。

對于這一變革很重要的是,超構(gòu)透鏡可以大規(guī)模量產(chǎn),使用深紫外光刻技術(shù)蝕刻到襯底上(與制造先進(jìn)半導(dǎo)體芯片的工藝相同)。這種可擴(kuò)展性非常重要,尤其是對于消費(fèi)電子應(yīng)用。對于這些應(yīng)用,尺寸、成本和快速批量制造能力是一項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)成敗的關(guān)鍵。

超構(gòu)光學(xué)廠商的創(chuàng)始人們看到了這項(xiàng)技術(shù)的潛力,并正在努力將這項(xiàng)顛覆性的光學(xué)元件技術(shù)推向市場。在不久的將來,憑借超構(gòu)光學(xué)技術(shù),他們預(yù)計(jì)智能手機(jī)將具有無與倫比的人臉識別和拍照性能;傳感器將能夠捕捉光偏振信息,實(shí)現(xiàn)前所未有的深度感知,甚至是物體的分子構(gòu)成;而內(nèi)窺鏡攝像頭將進(jìn)一步變小變薄,以至于可以插入人體支氣管,更早期地檢測癌癥,通過積極治療挽救更多生命。

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Metalenz的一片12英寸晶圓上包含了5000個超構(gòu)光學(xué)元件

正如哈佛大學(xué)Federico Capasso教授及其同事在2016年首次提出的,超構(gòu)表面(Metasurface)是“界面上亞波長間隔的移相器,可以前所未有的控制光的特性。”

Federico Capasso被認(rèn)為是超構(gòu)表面科學(xué)和技術(shù)的先驅(qū)者,基于如何利用費(fèi)馬原理對光束進(jìn)行任意整形以最小化光路的理解,他認(rèn)為該技術(shù)是一項(xiàng)重大突破。他解釋稱,在傳統(tǒng)光學(xué)中,光傳播過程中累積的逐漸相移被用于塑造光束的波前,例如聚焦光。但這是利用厚而笨重的材料(例如玻璃)實(shí)現(xiàn)的。

但他意識到,通過沿光路在亞波長尺度上引入相位變化,可以獲得塑造光的新自由度。為此,其團(tuán)隊(duì)嘗試了不同方法在光束上加入這種相移,用扁平的納米天線陣列來重新定向光。隨后在2016年,與當(dāng)時的研究生Robert C. Devlin(開發(fā)了由光刻和原子層沉積定義的TiO2納米鰭超構(gòu)表面)以及博士后研究員Reza Khorasaninejad合作共同開發(fā)了第一個高性能超構(gòu)透鏡。在可見光下工作時,展示了與當(dāng)時最先進(jìn)的復(fù)雜且笨重的顯微鏡物鏡相當(dāng)?shù)木劢剐阅堋?/p>

光學(xué)玻璃制造商感到了壓力

“在某種程度上來說,光學(xué)玻璃制造商感受到了來自超構(gòu)透鏡的壓力?!盌evlin說,他現(xiàn)在已經(jīng)是Metalenz的首席執(zhí)行官,該公司由他和Capasso教授共同創(chuàng)立,擁有大約20項(xiàng)超構(gòu)表面技術(shù)專利。他補(bǔ)充說:“我的意思是,在某些領(lǐng)域,超構(gòu)表面將取代傳統(tǒng)的透鏡和傳統(tǒng)的光學(xué)元件。另外,這種超構(gòu)光學(xué)元件可以在IC代工廠量產(chǎn)制造,這個意義很重大。”

他繼續(xù)說:“在很多應(yīng)用中,超構(gòu)表面可以提供實(shí)質(zhì)優(yōu)勢。盡管玻璃和塑料光學(xué)元件仍然存在一些優(yōu)勢,但隨著時間的推移,超構(gòu)表面以及我們正在Metalenz做的產(chǎn)品將占據(jù)越來越多的市場份額?!?/p>

去年6月,Metalenz宣布,其平面超構(gòu)表面光學(xué)器件正在意法半導(dǎo)體(STMicroelectronic)的半導(dǎo)體工廠制造,成為第一款可商業(yè)化的超構(gòu)表面技術(shù)。意法半導(dǎo)體在宣布這項(xiàng)交易時表示:“超構(gòu)光學(xué)元件可以在一層中收集更多的光,提供多種功能,并在智能手機(jī)和其他設(shè)備中實(shí)現(xiàn)新的傳感方式,同時還占用更少的空間?!?/p>

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在與Metalenz合作之前,意法半導(dǎo)體采用折射和衍射透鏡制造傳統(tǒng)的傳感器模組。“現(xiàn)在,意法半導(dǎo)體正在將Metalenz的超構(gòu)表面光學(xué)技術(shù)添加到飛行時間(ToF)傳感器模組中?!盌evlin說,“他們的傳感器模組已經(jīng)應(yīng)用于200種智能手機(jī)、筆記本電腦和其他應(yīng)用中。這是一種讓消費(fèi)者與其產(chǎn)品交互的一整套光學(xué)設(shè)備,目前出貨量已經(jīng)超過20億顆。這是一個相當(dāng)大的市場,我們的超構(gòu)表面有機(jī)會直接影響用戶體驗(yàn)?!?/p>

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對于加拿大材料科學(xué)公司META Materials來說,改進(jìn)5G寬帶通信只是其超構(gòu)表面技術(shù)的一個近期應(yīng)用,該技術(shù)面向定制化應(yīng)用通過人工智能AI)軟件設(shè)計(jì)工具得到了增強(qiáng)。META Materials的產(chǎn)品并非旨在取代玻璃,他們將超構(gòu)表面集成于透明薄膜,進(jìn)而以高度可控的方式移動光學(xué)或無線電頻率,從而在根本上強(qiáng)化玻璃及其它表面的功能性。

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META Materials超構(gòu)表面的掃描電子顯微鏡(SEM)圖像,其超構(gòu)表面是利用電子束光刻和干法蝕刻技術(shù)制造而成的。

5G應(yīng)用和自動駕駛等先進(jìn)應(yīng)用

META Materials的Rob Stone表示:“眾所周知,5G信號在室外尤其是室內(nèi)的傳播和穿透能力表現(xiàn)不佳。因?yàn)樾盘柕念l率更高,它們可以攜帶更多數(shù)據(jù)。但信號的覆蓋范圍較小,如果遇到環(huán)境中的物體,很容易被吸收或衰減?!?/p>

但他表示,通過META Materials的NANOWEB透明導(dǎo)電膜可以解決這些問題,“NANOWEB是透明的,我們可以將其設(shè)置在窗戶等建筑物的表面,建筑物上方信號塔發(fā)出的信號能夠通過其他建筑物的表面反射,進(jìn)而將信號引導(dǎo)到5G信號無法到達(dá)的盲區(qū)?!?/p>

Stone繼續(xù)介紹:“在建筑內(nèi)部,這些NANOWEB透明導(dǎo)電膜可以控制反射角度,以獲取走廊上的信號,并使其在拐角處轉(zhuǎn)彎,穿過大廳,進(jìn)入會議室。得益于其透明特性,可以在不干擾建筑的情況下覆蓋建筑。并且,還可以在上面噴漆。此外,這一切都是無源的,它們不需要布線,也不需要電源?!?/p>

相同的平臺還可以用于高級駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)的透明加熱器?!案叨诵驴钴囆蜕系募す饫走_(dá)和雷達(dá)可以提供先進(jìn)的安全功能,例如自動巡航控制和半自動駕駛等。但如果有一點(diǎn)霧或冰雪擋住傳感器窗口,所有這些功能都可能失效。”這種情況下,NANOWEB平臺可以提供不干擾激光雷達(dá)或雷達(dá)的加熱和EMI屏蔽功能。該技術(shù)可以為車輛的所有傳感器窗口、整個擋風(fēng)玻璃或天窗除冰或除霧。

Stone說:“我們還可以應(yīng)用電致變色技術(shù)將天窗調(diào)整至所需要的透明度,甚至可以不影響采光和視線的情況下在玻璃中嵌入5G天線?!?/p>

當(dāng)然,NANOWEB透明導(dǎo)電膜的商業(yè)成功還在于其可擴(kuò)展的制造能力,透明膜的卷對卷(R2R)制造,確保了納米結(jié)構(gòu)波導(dǎo)(結(jié)合高導(dǎo)電性和高透明度)的完整性。

對于其它初創(chuàng)公司,成功的路徑是利用新型表面(無論是否采用超構(gòu)表面)來設(shè)計(jì)傳統(tǒng)折射透鏡無法實(shí)現(xiàn)的創(chuàng)新光學(xué)系統(tǒng)。例如,醫(yī)療器械公司LeadOptik正在制造一種纖薄3D成像探頭,利用先進(jìn)的衍射光學(xué)技術(shù)進(jìn)行微創(chuàng)癌癥檢測。與超構(gòu)透鏡一樣,它們也是平面光學(xué)元件,通過表面特征整形光束以獲得期望的效果。

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LeadOptik將多個平面光學(xué)元件組裝在光纖尖端,以構(gòu)建一種3D醫(yī)學(xué)成像探頭

LeadOptik的目標(biāo)是充分利用折射光學(xué)技術(shù),并將其與先進(jìn)的衍射光學(xué)技術(shù)相結(jié)合,以實(shí)現(xiàn)一些超構(gòu)表面的特性。其中,最重要的是應(yīng)用平面光學(xué)元件,LeadOptik創(chuàng)始人、首席執(zhí)行官Khorasaninejad說:“我們可以構(gòu)建一種亞毫米尺度的自適應(yīng)聚焦技術(shù)。這項(xiàng)核心技術(shù)實(shí)現(xiàn)了世界上第一個多焦點(diǎn)3D成像探頭,它可以到達(dá)肺部的任何位置并進(jìn)行高分辨率成像。”

縮微的尺寸很重要。首先,在大多數(shù)情況下,癌癥都是從肺部外圍開始的,那里的氣道直徑很小,任何其他技術(shù)都很難到達(dá)。其次,當(dāng)我們需要將3D成像探頭與手術(shù)器械集成時,總是希望成像探頭占用更少的空間。Khorasaninejad說:“因?yàn)?,我們肯定不能干擾到手術(shù)器械的機(jī)械部分?!?/p>

就LeadOptik的3D成像探頭而言,它就像光纖尖端的微型可變焦顯微鏡,其目標(biāo)是通過人類肺部的通道導(dǎo)航,能夠高度準(zhǔn)確的定位癌癥病灶并測量深度信息(例如癌癥病灶的位置和大?。?。

對于外科醫(yī)生來說,深度是至關(guān)重要的信息,因?yàn)橥饪漆t(yī)生希望切除足夠多的病變組織,使癌癥不會復(fù)發(fā)。如果所討論的癌癥發(fā)生在大腦中,則信息更為關(guān)鍵。但該公司目前的重點(diǎn)是為醫(yī)生提供一種工具,以更好地診斷肺癌。肺癌是目前惡性腫瘤死亡原因之首。

Khorasaninejad表示,LeadOptik的醫(yī)學(xué)成像技術(shù)有很多潛在應(yīng)用,例如診斷其他類型的癌癥。但對于一家試圖獲得FDA批準(zhǔn)的年輕公司來說,“我們真的只要做對并做好一件事就行了。”

對于像Metalenz、LeadOptik這樣的初創(chuàng)公司來說,他們獲得的風(fēng)險投資和大公司的興趣表明了超構(gòu)透鏡的吸引力。無論是否應(yīng)用玻璃,市場對光學(xué)元件的功能和微型化永遠(yuǎn)沒有盡頭。即使再過一千年,古埃及書記官的“眼睛”仍將見證我們前進(jìn)的每一個腳印。

審核編輯 :李倩

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原文標(biāo)題:變革傳統(tǒng)光學(xué)元件,超構(gòu)透鏡加速商業(yè)化

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