隨著半導體行業的飛速發展,半導體材料的純度越來越高,半導體材料對痕量雜質的容忍度越來越低,已經發展成為專門性的半導體級痕量雜質分析技術。
季豐電子因應市場需求,已正式收購了江蘇賽夫特的檢測業務,建立起完整的痕量雜質分析平臺,專門服務于半導體領域的高級需求。
季豐痕量分析實驗室在原賽夫特檢測實驗室基礎上擴建而成,測試項目涵蓋半導體材料的痕量雜質,半導體生產所用超純化學品的痕量雜質,痕量離子及無塵室VOC等等。歡迎新老朋友前來參觀、交流!
主營業務
痕量金屬測試能力
對半導體生產中的化學品進行痕量雜質測試,如UPW、HF、HCl、HNO3、H2SO4、H3PO4、NH4OH、Wafer表面、Wafer本體、BOE、SC1、SC2、DEV、H2O2、IPA、NMP等進行痕量分析(ppt level);可測試金屬有Li、Na、Mg、Al、 K、 Cr、 Mn、Fe、 Ni、 Pb、 Co、 Ca、 Ga、 As、 Cu、 Zn、 Ag、 Ba、 Tl、 B、 Bi、 Cd、 In、Sr、 W、 Si、 Ti等;1ppt級別的檢測能力;同時可做同位素分離等。
(左上Angilent ICP-MS 8900、左下WSPSVPD 實驗機臺、右邊Angilent ICP-OES5800) 對半導體生產中的WAFER 正表面和背表面進行金屬測試(VPD-ICP MS)。可測試金屬有Li、Na、 Mg、 Al、 K、 Cr、 Mn、 Fe、 Ni、 Pb、 Co、 Ca、 Ga、 As、 Cu、 Zn、 Ag、 Ba、 Tl、 B、 Bi、 Cd、In、 Sr、 W、 Si、 Ti等。10^8atom/cm2級別的檢測能力。
痕量離子濃度測試能力
(ThermoFisher ICS6000) 離子測量有F-、Cl-、NO3- 、SO42-、PO43-、NH4+等。10ppt級別的檢測能力。
(瑞士萬通 905 雙通全自動電位滴定儀酸堿+氧化還原) 可精確定量半導體原材料,生產工藝過程中的化學品濃度。如:Slurry、BOE、TMAH、 SC1、SC2 等化學品濃度。
(瑞士萬通 852 卡爾費休庫侖雙通道水分儀)
可以精確定量半導體原材料,生產工藝過程中化學品中水分含量從0.01%-1%都能精準測試。 GC-MS 應用:分析來自FAB環境樣品中的VOC含量(VOC:Volatile Organic Compound)
(Agilent 5977-8860+TD100 熱脫附) 傅里葉變換紅外分析儀是用來分析WAFER中的C、O整體濃度分布的儀器。 分析原理:全光譜吸收對比,精度PPM-PPB。 即可以單點濃度分析,也可以面掃描分析。
(Nicolet iS50 FTIR)
化學實驗室測試能力
至此,季豐已在全國各地先后成立了10余個實驗室、研發辦公室、工程量產生產線,總面積40000多平方米。為了建立強大的工程技術中心,季豐斥巨資完善各類驗證分析的儀器設備和材料分析設備,企業團隊規模也增加了20倍,每年的復合增長率都超過80%,業務范圍覆蓋軟硬件設計、精密機械、儀器設備、特種測試、極速封裝、失效分析、可靠性認證、材料分析等8大領域,涉及半導體、光伏、電子濕化學等領域。
季豐的市場天花板在不斷提升,服務的企業數量從200家增加到近2000家,未來還能做更多的設備及服務,歡迎新老客戶前來參觀、委案。
季豐電子
上海季豐電子股份有限公司成立于2008年,致力于集成電路及相關領域內的軟硬件及設備研發與專業技術服務,為客戶提供一站式的綜合解決方案。公司的四大業務版塊包括:基礎技術中心、硬件軟件方案、特種封裝測試、儀器設備研發。
季豐電子通過高新技術、專精特新小巨人、研發機構、公共服務平臺等企業資質認定,通過了ISO9001、ISO17025、CMA、CNAS等認證。總部位于上海,在浙江、北京、深圳、成都等地設有分公司。
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原文標題:季豐再添新業務,加快建立痕量雜質分析平臺
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