為您的應用選擇最合適的加速度計可能很困難，因為來自不同制造商的數據表可能會有很大差異，從而導致混淆最關鍵的規格是什么。本文的第 1 部分討論了設計人員需要了解的關鍵參數和特性，以及它們與傾斜和穩定應用的關系。在本文的第 2 部分中，我們將重點介紹可穿戴設備、狀態監測和物聯網應用背景下的關鍵規范和功能。

可穿戴設備

關鍵標準：低功耗、小尺寸、增強節能的集成功能和可用性。

用于電池供電、可穿戴應用的加速度計的關鍵規格是超低功耗，通常在 μA 范圍內，以確保盡可能延長電池壽命。其他關鍵標準是尺寸和集成功能，例如備用 ADC 通道和深度 FIFO，以幫助最終應用中的電源管理和功能。由于這些原因，MEMS加速度計通常用于可穿戴應用。表 1 按上下文顯示了一些生命體征監測 （VSM） 應用程序及其相應設置。可穿戴應用中使用的加速度計通常對運動進行分類；提供自由落體檢測；測量是否存在運動以提供系統開機、關機或睡眠；并幫助心電圖和其他 VSM 測量的數據融合。

［表 1 | VSM可穿戴應用的運動傳感要求］

在為超低功耗應用選擇加速度計時，必須在數據表中規定的功耗水平下觀察傳感器的功能。要觀察的一個關鍵是帶寬和采樣率是否降低到無法測量可用加速度數據的水平。某些部件會每秒自動關閉并喚醒以保持低功耗，這樣做會由于有效采樣率降低而丟失關鍵的加速度數據。為了測量實時人體運動的范圍，必須顯著增加功耗。ADXL362和ADXL363等部件不要通過欠采樣來混淆輸入信號；它們以所有數據速率對傳感器的全部帶寬進行采樣。功耗隨采樣率動態變化，如圖 1 所示。值得注意的是，這些部件的采樣頻率高達 400 Hz，電流消耗僅為 3 μA。這些更高的數據速率可在可穿戴設備接口中實現額外的功能，例如點擊/雙擊檢測。采樣率可以降低到 6 Hz，以允許設備在被拾起或檢測到運動時啟動，平均電流消耗為 270 nA，這可能適用于電池無法輕松更換的植入式應用。

【圖1 | ADXL362 電源電流是輸出數據速率的函數。］

在某些應用中，加速度計每秒僅輪詢加速度一次或幾次就足夠了。對于這些應用，ADXL362 和 ADXL363 提供僅消耗 270 nA 的喚醒模式。ADXL363 結合了一個 3 軸 MEMS 加速度計、一個溫度傳感器（典型比例因子為 0.065°C）和一個用于同步轉換外部信號的板載 ADC 輸入，采用 3 mm × 3.25 mm × 1.06 mm 封裝。加速度和溫度數據可以存儲在 512 個樣本的多模式 FIFO 緩沖區中，最多可以存儲 13 秒的數據。

ADI 公司開發了一款 VSM 手表，僅用于演示，以展示 ADXL362 等超低功耗器件在電池和空間受限應用中的功能。

ADXL362 用于跟蹤運動和輪廓運動，以幫助從其他測量中去除不需要的偽影。

基于狀態的監測 （CBM）

關鍵標準：低噪聲、寬帶寬、信號處理、g范圍和低功耗。

CBM 涉及監控參數，例如機械振動，目的是識別和指示潛在的故障發生。CBM 是預測性維護的主要組成部分，其技術通常用于渦輪機、風扇、泵和電機等旋轉機械。CBM 加速度計的關鍵標準是低噪聲和寬帶寬。在撰寫本文時，很少有競爭對手提供帶寬高于 3.3 kHz 的 MEMS 加速度計，一些專業制造商提供高達 7 kHz 的帶寬。

隨著工業物聯網的進步，人們越來越重視減少布線和利用無線、超低功耗技術。這使得 MEMS 加速度計在尺寸、重量、功耗和集成智能功能的潛力方面領先于壓電加速度計。CBM 最常用的傳感器是壓電加速度計，因為它們具有良好的線性度、SNR、高溫操作以及從 3 Hz 到 30 kHz 的典型帶寬，在某些情況下高達數百 kHz。然而，壓電加速度計在直流附近的性能很差，如圖 3 所示，在接近直流的較低頻率下會發生相當多的故障，尤其是在風力渦輪機和類似的低轉速應用中。

MEMS 電容式加速度計在自測、峰值加速度、光譜警報等、FFT 和數據存儲等特性方面提供更高水平的集成和功能，并且抗震能力高達 10000 g，具有直流響應，并且更小更輕。ADXL354/ADXL355 和 ADXL356/ADXL357 非常適合基于其超低噪聲和溫度穩定性的狀態監測應用，但最終它們的帶寬使它們無法執行更深入的診斷分析。然而，即使帶寬范圍有限，這些加速度計也可以提供重要的測量；例如，在風力渦輪機狀態監測中，設備以非常低的速度旋轉。在這種情況下，需要對直流作出響應。

【圖3 | 旋轉設備故障振動偽影。］

ADXL100x 系列單軸加速度計針對工業狀態監測進行了優化，并提供高達 50 kHz 的寬測量帶寬、高達 ±100 g的g范圍和超低噪聲性能——在性能方面可與壓電加速度計相媲美。 有關 ADI MEMS 電容式加速度計與壓電式加速度計的更詳細討論，請參閱本文：MEMS 加速度計性能成熟。

ADXL1001/ADXL1002的頻率響應如圖4所示。旋轉機械中發生的大部分故障，如套筒軸承損壞、不對中、不平衡、摩擦、松動、齒輪故障、軸承磨損和氣蝕都發生在測量范圍內。 ADXL100x 系列狀態監測加速度計。

【圖4 | ADXL1001/ADXL1002的頻率響應，高頻（》5 kHz）振動響應；激光測振儀控制器參考用于精度的 ADXL1002 封裝。］

壓電加速度計通常不集成智能功能，而像 ADXL100x 系列這樣的 MEMS 電容式加速度計提供內置超量程檢測電路，該電路提供警報以指示發生了大于約 2 倍指定g范圍的顯著超量程事件。這是開發智能測量和監控系統的關鍵功能。ADXL100x 應用了一些內部時鐘的智能禁用，以在連續超量程事件期間保護傳感器元件，例如電機發生故障時會發生的事件。這減輕了主機處理器的負擔，并可以為傳感器節點增加智能——這都是狀態監測和工業物聯網解決方案的關鍵標準。

MEMS 電容式加速度計在性能上取得了巨大飛躍，以至于新的 ADXL100x 系列正在競爭并贏得以前由壓電傳感器主導的插座。ADXL35x 系列提供業界最佳的超低噪聲性能，它還取代了 CBM 應用中的傳感器。CBM 的新解決方案和方法正在與物聯網架構融合為更好的傳感、連接以及存儲和分析系統。ADI 公司最新的加速度計可在邊緣節點實現更智能的監控，幫助工廠管理人員實現完全集成的振動監控和分析系統。

第一代 CBM 子系統 ADIS16227 和 ADIS16228 進一步完善了這一系列 MEMS 加速度計，是半自主、完全集成、寬帶寬振動分析系統，如圖 5 所示，具有六個光譜帶上的可編程警報、2 級設置等功能用于警告和故障定義、可調節的響應延遲以減少誤報，以及帶有狀態標志的內部自檢。頻域處理包括每個軸的 512 點實值 FFT，以及 FFT 平均，可降低本底噪聲變化以獲得更精細的分辨率。ADIS16227 和 ADIS16228 完全集成的振動分析系統可以縮短設計時間、降低成本、最大限度地降低處理器要求并減少空間限制，使其成為 CBM 應用的理想選擇。

【圖5 | 具有 FFT 分析和存儲功能的數字三軸振動傳感器。］

物聯網

關鍵標準：功耗、允許智能省電和測量的集成功能、小尺寸、深 FIFO 和合適的帶寬。

整個行業都很好地理解物聯網的前景。為了兌現這一承諾，未來幾年將不得不部署數百萬個傳感器。這些傳感器中的絕大多數將被放置在難以進入或空間受限的位置，例如屋頂、路燈頂部、塔桅桿、橋梁、重型機械內部等，從而實現智慧城市、智慧農業、智能建筑等。由于這些限制，很可能這些傳感器中的很大一部分將需要無線通信，以及電池供電，也許還需要某種形式的能量收集。

物聯網應用的趨勢是盡量減少無線傳輸到云或本地服務器以進行存儲和分析的數據，因為現有方法使用過多的帶寬并且價格昂貴。傳感器節點的智能處理可以區分無用和有用的數據，最大限度地減少傳輸大量數據的需求，從而降低帶寬和成本。這就要求傳感器包含智能功能，同時保持超低功耗。標準物聯網信號鏈如圖 6 所示。請注意，并非所有解決方案都需要無線連接——對于大量應用，仍然需要有線解決方案，無論是 RS-485、4 mA 至 20 mA 還是工業以太網等。

通過在節點上擁有一些智能，可以只沿著信號鏈傳輸有用的數據——節省功率和帶寬。在 CBM 中，在傳感器節點本地完成的處理量將取決于幾個因素，例如機器的成本和復雜性與狀態監測系統的成本。傳輸的數據范圍可以從簡單的超出范圍警報到數據流。存在諸如 ISO 10816 之類的標準來指定以特定 RPM 速率運行的給定尺寸機器的警告條件，當振動速度超過預設閾值時輸出警報信號。ISO 10816 旨在優化被測系統及其滾動軸承的使用壽命，因此它最大限度地減少了傳輸的數據量，從而更好地支持 WSN 架構中的部署。

ISO 10816 應用程序中使用的加速度計的要求是g范圍為 50 g或更小，并且在低頻下具有低噪聲，因為加速度數據被周期性地積分以獲得以 mm/sec rms 為單位的單個速度點。當對包含低頻噪聲的加速度計數據進行積分時，誤差會在速度輸出中線性增加。ISO 標準規定了一個

1 Hz 至 1 kHz 測量范圍，但用戶希望集成低至 0.1 Hz。傳統上，這受到電荷耦合壓電加速度計中低頻高噪聲水平的限制，但一些下一代加速度計將本底噪聲保持在直流，僅受信號調理電子設備的 1/f 噪聲角的限制，通過精心設計，可以將其最小化至 0.01 Hz。MEMS 加速度計可用于經濟型 CBM 應用中以獲得低成本設備，或者由于與壓電傳感器相比尺寸更小且成本更低，因此可以集成到嵌入式解決方案中。

【圖6 | Analog Devices 提供的邊緣傳感器節點解決方案。］

物聯網傳感器節點的一些關鍵標準是低功耗（ADXL362、ADXL363），并具有豐富的功能集，可實現能量管理和檢測特定數據，例如超過閾值活動、頻譜輪廓警報、峰值加速度值和長時間活動或不活動（ADXL372、ADXL375）。

所有這些加速度計都可以保持整個系統斷電，同時將加速度數據存儲在 FIFO 中并尋找活動事件。當影響事件發生時，在事件之前收集的數據將被凍結在 FIFO 中。如果沒有 FIFO，在事件之前捕獲樣本將需要處理器對加速度信號進行連續采樣和處理，這會顯著降低電池壽命。ADXL362 和 ADXL363 FIFO 可以存儲超過 13 秒的數據，在活動觸發之前提供清晰的事件畫面。通過不使用電源占空比，而是在所有數據速率下采用全帶寬架構來保持超低功耗，從而防止輸入信號的混疊。

資產健康監測

關鍵標準：功耗、允許智能省電和測量的集成功能、小尺寸、深 FIFO 和合適的帶寬。

資產健康監測 （AHM） 通常涉及在一段時間內監測高價值資產，無論是靜態的還是在途的。這些資產可能是集裝箱內的貨物、遠程管道、平民、士兵、高密度電池等，容易受到沖擊或沖擊事件的影響。物聯網為報告可能影響資產功能或安全的此類事件提供了理想的基礎設施。用于 AHM 的傳感器的關鍵標準是測量高g的能力與資產相關的沖擊和影響事件，同時消耗非常低的功率。在電池供電或便攜式應用中嵌入此類傳感器時，需要考慮的其他關鍵傳感器規格包括尺寸、過采樣和抗混疊功能，以準確處理高頻內容，以及通過最大限度地延長主機處理器睡眠時間來延長電池壽命的智能功能，并允許用于檢測和捕獲沖擊曲線的中斷驅動算法。

ADXL372 微功耗、±200 g MEMS 加速度計針對智能物聯網邊緣節點的新興資產健康市場空間。此部分包含專為 AHM 市場開發的幾個獨特功能，以簡化系統設計并提供系統級功耗。高克沖擊或撞擊等事件通常與廣泛頻率范圍內的加速度內容密切相關。準確捕獲這些事件需要寬帶寬，因為帶寬不足的測量將有效降低記錄事件的幅度，從而導致不準確。這是數據表中需要觀察的關鍵參數。有些部件不滿足采樣率的奈奎斯特標準。ADXL375 和 ADXL372 提供了捕獲整個沖擊曲線以進行進一步分析的選項，而無需主機處理器的干預。這是通過結合加速度計的內部 FIFO 使用沖擊中斷寄存器來實現的。圖 7 顯示了擁有足夠的 FIFO 以在觸發事件之前確定整個沖擊曲線的重要性。在 FIFO 不足的情況下，

【圖7 | 準確捕捉沖擊曲線。］

ADXL372 可以在極低的功率水平下以高達 3200 Hz 的帶寬運行。陡峭的濾波器滾降也有助于有效抑制帶外內容，為此目的，ADXL372 集成了一個四極低通抗混疊濾波器。如果沒有抗混疊濾波，任何頻率超過輸出數據速率/2 的輸入信號都可能折疊到感興趣的測量帶寬中，從而導致測量不準確。這種四極低通濾波器具有用戶可選擇的濾波器帶寬，可在用戶應用中實現最大的靈活性。

即時撞擊檢測功能允許用戶配置 ADXL372 以在處于超低功耗模式時捕獲高于特定閾值的撞擊事件。如圖 8 所示，在發生碰撞事件后，加速度計進入完全測量模式，以準確捕捉碰撞曲線。

【圖8 | 使用默認閾值的即時啟動模式。］

一些應用程序要求僅記錄來自沖擊事件的峰值加速度樣本，因為僅此一項就可以提供足夠的信息。ADXL372 FIFO 能夠存儲每個軸的峰值加速度樣本。可存儲在 FIFO 中的最長持續時間為 1.28 秒（400 Hz ODR 時 512 個單軸樣本）。3200 Hz ODR 的 170× 3 軸樣本對應于 50 ms 的時間窗口，足以捕獲典型的沖擊波形。不需要完整事件配置文件的應用程序可以通過僅存儲峰值加速度信息來大大增加 FIFO 讀取之間的時間，從而進一步節省功耗。可以通過多種方式分配 512 個 FIFO 樣本，包括：

170 組并發 3 軸數據樣本

256 組并發 2 軸數據樣本（用戶可選）

512組單軸數據樣本

170組沖擊事件峰（x，y，z）

適當使用 FIFO 可讓主機處理器在加速計自動收集數據時長時間休眠，從而實現系統級功耗。或者，使用 FIFO 收集數據可以減輕主處理器的負擔，同時它可以處理其他任務。

市場上還有其他幾款具有類似高g性能的加速度計，但由于帶寬窄且功耗較高，它們不適合 AHM/SHM 物聯網邊緣節點應用。在提供低功耗模式的情況下，它通常處于無法進行準確測量的較低帶寬。

審核編輯：郭婷