據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道，近日，美國(guó)德克薩斯農(nóng)工大學(xué)（Texas A&M University）的一支研究團(tuán)隊(duì)在Scientific Reports期刊上發(fā)表了利用中紅外氮化硅（SiN）波導(dǎo)傳感器檢測(cè)揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOC）的論文，該團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)的新型波導(dǎo)傳感器能夠?yàn)榻】怠⑥r(nóng)業(yè)和環(huán)境等應(yīng)用監(jiān)測(cè)多種氣體分析物。

圖1（a）帶有聚二甲基硅氧烷（PDMS）室的SiN波導(dǎo)傳感器；（b）SiN波導(dǎo)的SEM頂部圖像；（c）來(lái)自單個(gè)SiN波導(dǎo)的模式圖。

VOC檢測(cè)對(duì)于從健康診斷到環(huán)境和工業(yè)監(jiān)測(cè)的各種應(yīng)用至關(guān)重要。VOC分析通常使用兩種通用方法：一種基于氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用（GC-MS）等分析技術(shù)；另一種涉及固態(tài)傳感器，基于金屬氧化物半導(dǎo)體（MOS）、電化學(xué)（EC）或光離子化檢測(cè)（PID）。

GC-MS可以提供準(zhǔn)確的氣體分析，但系統(tǒng)體積龐大，因此不適合即時(shí)使用（POU）和實(shí)時(shí)應(yīng)用。反過(guò)來(lái)，固態(tài)化學(xué)傳感器具有很高的靈敏度和便攜性，但在區(qū)分VOC方面的選擇性較低。作為傳統(tǒng)固態(tài)傳感器的替代品，中紅外（mid-IR）傳感可以通過(guò)測(cè)量VOC的特征吸收和指紋振動(dòng)特征來(lái)提供高選擇性。

然而，中紅外吸收光譜需要臺(tái)式光學(xué)設(shè)備，如傅里葉變換紅外光譜（FTIR），這對(duì)于POU應(yīng)用是不現(xiàn)實(shí)的。為了解決這個(gè)問(wèn)題，研究人員開(kāi)發(fā)了由光波導(dǎo)和其他芯片級(jí)光子元件組成的微型光子電路。然而，先前的方法使用了高折射率的波導(dǎo)材料，如Si和Ge，這會(huì)導(dǎo)致微弱的倏逝波，因此它們的靈敏度較低。研究人員還使用了硫族化合物材料，它們能夠提供更強(qiáng)的倏逝場(chǎng)，但它們?cè)诔睗癍h(huán)境下容易降解，因此需要在干燥的氮?dú)饣蚋哒婵諚l件下儲(chǔ)存。

為了解決這個(gè)問(wèn)題，本論文對(duì)使用SiN作為波導(dǎo)材料進(jìn)行了研究。相比于Si（nSi?=?3.4），SiN具有較低的折射率（nSiN?=?1.94），可產(chǎn)生強(qiáng)倏逝波，因此具有更高的靈敏度，還具有優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性，可在環(huán)境濕度條件下重復(fù)使用。此外，SiN具有寬闊的紅外透明窗口、低光學(xué)損耗以及與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）工藝的高兼容性。

這些特性使SiN成為波導(dǎo)傳感器的理想材料，能夠在長(zhǎng)期傳感操作中實(shí)現(xiàn)可重復(fù)、可再現(xiàn)的VOC檢測(cè)。然而，據(jù)本論文的作者們所知，先前關(guān)于SiN作為波導(dǎo)材料的研究工作主要是理論上的，或者集中在可見(jiàn)光范圍內(nèi)的波長(zhǎng)實(shí)現(xiàn)傳感功能，而不是信息量更豐富的中紅外范圍。

在本論文中，作者們?cè)O(shè)計(jì)并測(cè)試了用于檢測(cè)VOC的由SiN波導(dǎo)組成的中紅外傳感器。采用低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）制備的SiN薄膜具有較寬的中紅外透明區(qū)和比Si（nSi?=?3.4）等傳統(tǒng)材料更低的折射率（nSiN?=?2.0），這導(dǎo)致更強(qiáng)的倏逝波，因此該傳感器具有更高的靈敏度，正如有限差分本征模（FDE）計(jì)算所證實(shí)的那樣。

圖2 SiN波導(dǎo)的制造過(guò)程及其與PDMS室的組裝

圖3 VOC檢測(cè)測(cè)量的實(shí)驗(yàn)設(shè)置

圖4（a）SiN和（b）Si波導(dǎo)在厚度T = 1和2 μm時(shí)的靈敏度與波長(zhǎng)（λ）的關(guān)系

此外，通過(guò)在波長(zhǎng)λ?=?3.0–3.6 μm處的特征吸收測(cè)量，作者們?cè)趯?shí)驗(yàn)上證明了對(duì)三種VOC（丙酮、乙醇和異戊二烯）的原位監(jiān)測(cè)。由于具有更強(qiáng)的倏逝場(chǎng)，SiN波導(dǎo)的靈敏度比Si波導(dǎo)提高了5倍。據(jù)作者們所知，這是第一次使用SiN波導(dǎo)進(jìn)行片上（on-chip）中紅外光譜測(cè)量以用于VOC檢測(cè)。

圖5 使用寬度為?10 μm和厚度為1 μm的SiN波導(dǎo)對(duì)脈沖VOC的實(shí)時(shí)中紅外監(jiān)測(cè)：（a）λ?=?3.375 μm處的丙酮，（b）λ?=?3.375 μm處的乙醇，和（c）λ?=?3.400 μm處的異戊二烯。

圖6 丙酮、乙醇和異戊二烯的中紅外吸收光譜；（a–c）SiN波導(dǎo)測(cè)量結(jié)果；（d–f）NIST WebBook數(shù)據(jù)庫(kù)中的光譜。

由于其與CMOS工藝的高兼容性，所提出的中紅外SiN波導(dǎo)傳感器可以與無(wú)線(xiàn)電子器件集成，并有望為健康、農(nóng)業(yè)和環(huán)境應(yīng)用提供一個(gè)用于氣體分析物傳感的緊湊型模塊。

論文信息：
Zhou, J., Al Husseini, D., Li, J. et al. Detection of volatile organic compounds using mid-infrared silicon nitride waveguide sensors. Sci Rep 12, 5572 (2022).

https://doi.org/10.1038/s41598-022-09597-9

審核編輯 ：李倩