在各種光學應用中，隨著通光口徑的不斷增大和分辨率的不斷提高，或應用環境的變化，各類微振動都會對光學系統產生不利的影響，例如會極大地降低成像或光通信的質量。因此，就需要針對這種微振動設計出相應的隔振系統。

為了能夠設計出更適合光學載荷的隔振系統，就需要對微振動進行充分的了解與研究，以及對隔振的性能進行實際的、充分的試驗驗證。因此，一種高可靠性、高精度的微振動模擬器將是隔振系統設計過程中必要的工具之一。并且，因光學載荷整個系統的重量較大，該微振動模擬器的承載能力一定要強!

針對微振動模擬或擾動模擬應用環境的特點，芯明天以自身先進的壓電納米定位與控制技術，研發、生產了多款振動模擬用壓電偏擺臺。并且，每種型號都具有高精度、大承載的特點，完全可滿足振動模擬的各項要求。XD500系列壓電偏擺臺就是其中之一。

XD500系列壓電偏擺臺為θx、θy二維偏轉的壓電偏擺臺，它的承載能力高達10kg，偏轉角度為±0.29mrad，分辨率可達0.1μrad。XD500系列是專為大負載偏轉應用而設計，它非常適于大負載偏擺運動實驗，如空間擾動模擬、振動模擬等。

XD500系列壓電偏擺臺是基于多壓電陶瓷結構設計而成，每軸采用多個壓電陶瓷結構，以推拉模式、差分驅動形成偏轉運動。XD500系列壓電偏擺臺，整體采用柔性鉸鏈結構、具有無機械摩擦、響應速度快、重復定位精度高等優點。

特點

? θx、θy二維偏轉? 承載能力達10kg? 適于大負載偏轉應用? 可選配閉環反饋傳感器

應用

? 微振動模擬器? 光束偏轉/掃描? 重型鏡持偏轉? 空間擾動模擬等

偏轉角度與驅動電壓曲線

技術參數

型號：XD500.T0S/K-B1

運動自由度：θx、θy

驅動控制：3路驅動

標稱偏轉角度(0~120V)：0.46mrad/軸

偏轉角度(0~150V)：0.58mrad/軸

傳感器類型：SGS

閉/開環分辨率：0.2/0.1μrad

閉環重復定位精度：0.1%F.S.

推/拉力：200/20N

空載諧振頻率：1000Hz

帶載10kg諧振頻率：230Hz

承載能力：10kg

靜電容量：21.5μF/軸

材質：鋼、鋁

重量：5kg

審核編輯：湯梓紅