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韓國已開發出一種適用于智能手機攝像頭的耐高溫紅外成像傳感器

ss ? 來源:MEMS ? 作者:麥姆斯咨詢王懿 ? 2021-04-28 16:51 ? 次閱讀

據麥姆斯咨詢報道,韓國科學技術研究院(KIST)光電材料和設備中心Choi Won-jun博士領導的研究小組已經開發出一種適用于智能手機攝像頭的耐高溫紅外成像傳感器,可用于體溫測量。這款熱成像傳感器克服了傳統微測熱輻射計的問題,能夠工作在100℃環境且無需冷卻元件,從而降低成本,擴大測溫范圍。

該紅外探測器可以應用于智能手機自動駕駛汽車,即使工作在高溫環境下也毫無問題。一般情況下,智能手機對元件的最高工作溫度要求為85℃,而自動駕駛汽車的要求則提高到125℃。

KIST研究人員開發的微測熱輻射計結構示意圖(來源:KIST)

為了取消占總成本10%以上、功耗高的冷卻元件,研究人員使用了耐高溫的氧化釩B相(VO2(B))薄膜,制造出可以探測從VO2(B)薄膜熱量產生的紅外光的器件,并將其轉換成電信號。

此外,該團隊還開發了一種吸收器,可以最大程度地吸收外部紅外光線。當與紅外吸收器結合使用時,微測熱輻射計檢測物體熱量并將其轉換為電信號的靈敏度提高了三倍。

研究小組指出,新開發的微測熱輻射計響應速度更快,每秒捕獲100幀,而傳統微測熱輻射計每秒只能捕獲30~40幀。

Choi評論說:“通過對器件的技術融合研究開發,我們不僅獲得了降低紅外熱成像傳感器制造成本的原始技術,而且提高了器件的靈敏度和運行速度。”

“我們預計,未來這項技術將越來越多地被用于智能手機和自動駕駛汽車的熱成像攝像頭。”

這項研究得到了韓國科學部、信息通信行業與KIST聯合制定的新材料研究計劃、韓國蔚山國家科學與技術研究所(UNIST)和蔚山市的共同支持。

這篇題為Wide-temperature (up to 100℃) operation of thermostable vanadium oxide-based microbolometers with Ti/MgF2 infrared absorbing layer for long-wavelength infrared (LWIR) detection的論文發表在最新一期的《應用表面科學》雜志上。

編輯:jq

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