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SJ6000激光干涉儀的性能特點(diǎn)及應(yīng)用范圍

牽手一起夢(mèng) ? 來源:中圖儀器 ? 作者:中圖儀器 ? 2021-01-06 15:55 ? 次閱讀

SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)最高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑?jiǎn)潔化的記錄管理。

SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

在很多人的印象中,激光干涉儀主要用于校準(zhǔn)機(jī)床精度,其實(shí)激光干涉儀可以標(biāo)定數(shù)字水準(zhǔn)儀的精度。

以往標(biāo)定數(shù)字水準(zhǔn)儀的精度采用的是用野外觀測(cè)的方法,即通過往返閉合差、高差閉合差或與己知高程點(diǎn)的成果進(jìn)行比較來評(píng)定儀器的精度。這種方法野外工作量大,精度受到外界和觀測(cè)者以及已知點(diǎn)成果精度等的影啊不能較客觀地評(píng)定儀器本身的精度,也不適合于對(duì)儀器的檢測(cè)。而使用激光干涉儀與一個(gè)標(biāo)尺,可以達(dá)到大于3um的測(cè)量精度:將條碼尺置于豎直導(dǎo)軌上,在其尺底端安置激光干涉儀的反射棱鏡用45直角棱鏡將激光束轉(zhuǎn)向。水準(zhǔn)尺的上下移動(dòng)經(jīng)過轉(zhuǎn)向后,將其位移量直接反映到激光干涉儀上,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)數(shù)字水準(zhǔn)儀的標(biāo)定。

SJ6000激光干涉儀的性能特點(diǎn)及應(yīng)用范圍

責(zé)任編輯:gt

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