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華海清科科創(chuàng)板上市申請 為中芯國際等提供CMP設(shè)備

電子工程師 ? 來源:世界半導(dǎo)體論壇 ? 作者:世界半導(dǎo)體論壇 ? 2020-10-26 11:48 ? 次閱讀

10月15日,上交所正式受理華海清科股份有限公司(以下簡稱“華海清科”)科創(chuàng)板上市申請。

資料顯示,華海清科成立于2013年,是一家擁有核心自主知識產(chǎn)權(quán)的高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商,主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù),主要產(chǎn)品為化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)設(shè)備。 打破國外技術(shù)壟斷 據(jù)悉,該公司生產(chǎn)的CMP設(shè)備可廣泛應(yīng)用于12英寸和8英寸的集成電路大生產(chǎn)線,產(chǎn)品總體技術(shù)性能已達(dá)到國際先進(jìn)水平,是目前國內(nèi)唯一一家為集成電路制造商提供12英寸CMP商業(yè)機(jī)型的高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商。


根據(jù)招股書資料,華海清科核心研發(fā)團(tuán)隊先后承擔(dān)、聯(lián)合承擔(dān)了兩項“國家科技重大專項(02專項)”及三項國家級重大項目/課題,針對納米級拋光、納米顆粒超潔凈清洗、納米精度膜厚在線檢測、大數(shù)據(jù)分析及智能化控制等CMP設(shè)備核心關(guān)鍵技術(shù)取得了有效突破和系統(tǒng)布局,打破了國外巨頭的技術(shù)壟斷,真正實現(xiàn)了國內(nèi)市場CMP設(shè)備領(lǐng)域的國產(chǎn)替代。 2017年度-2019年度,CMP設(shè)備在華海清科總營收的占比分別為73.69%、89.01%、以及92.39%,同時占2020年上半年營收的80.73%。報告期內(nèi),華海清科的前五大客戶占比分別為98.22%、99.09%、94.96%和99.57%。

據(jù)了解,華海清科CMP設(shè)備已累計出貨43臺,在手訂單26臺,設(shè)備已廣泛應(yīng)用于中芯國際、長江存儲、華虹集團(tuán)、英特爾、長鑫存儲、廈門聯(lián)芯、廣州粵芯、上海積塔等國內(nèi)外先進(jìn)集成電路制造商的大生產(chǎn)線中。 募資15億元加碼主營業(yè)務(wù) 據(jù)悉,華海清科此次擬募集資金15億元,擬全部用于公司主營業(yè)務(wù)相關(guān)的項目及主營業(yè)務(wù)發(fā)展所需資金,包括高端半導(dǎo)體裝備(化學(xué)機(jī)械拋光機(jī))產(chǎn)業(yè)化項目、高端半導(dǎo)體裝備研發(fā)項目、晶圓再生擴(kuò)產(chǎn)升級項目、以及補充流動資金。

Source:招股書截圖 其中,高端半導(dǎo)體裝備(化學(xué)機(jī)械拋光機(jī))產(chǎn)業(yè)化項目計劃總投資54,044萬元,建設(shè)周期為15個月,建設(shè)1棟生產(chǎn)廠房、1棟測試車間及相關(guān)配套設(shè)施,總建筑面積53,000平方米,設(shè)計產(chǎn)能為年產(chǎn)100臺化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)(包括減薄設(shè)備)。項目建成后公司將進(jìn)一步擴(kuò)大高端半導(dǎo)體裝備(主要是高端CMP設(shè)備和減薄拋光一體機(jī))生產(chǎn)能力及在化學(xué)機(jī)械拋光相關(guān)領(lǐng)域的研發(fā)和服務(wù)能力。

目前,該項目已于2020年3月取得施工許可證并開工,建設(shè)期預(yù)計為15個月。截至本招股說明書簽署日,建安工程施工已完成主體結(jié)構(gòu)封頂,預(yù)計將于2020年底前開始生產(chǎn)線試運行,2021年上半年完成整體項目驗收并正式投產(chǎn)。 高端半導(dǎo)體裝備研發(fā)項目計劃總投資31,185萬元,項目通過開展系列技術(shù)研發(fā)課題,創(chuàng)新研發(fā)面向14nm及以下制程先進(jìn)半導(dǎo)體制造CMP、減薄多項關(guān)鍵技術(shù)及系統(tǒng),并研發(fā)相應(yīng)的成套先進(jìn)工藝。

此外,華海清科已打通整套晶圓再生工藝流程,并于2020年起開始小規(guī)模生產(chǎn)。晶圓再生擴(kuò)產(chǎn)升級項目以公司自主研發(fā)生產(chǎn)的高端CMP設(shè)備為平臺,配合已開發(fā)并成熟應(yīng)用的CMP工藝,同時搭配新型的單片清洗設(shè)備,搭建更大規(guī)模生產(chǎn)線用于擴(kuò)產(chǎn)升級晶圓再生業(yè)務(wù)。項目計劃總投資35,790萬元,建設(shè)周期為15個月,新增生產(chǎn)設(shè)備及儀器46套,項目建成后具備月加工10萬片12英寸再生晶圓的生產(chǎn)能力。

對于未來發(fā)展規(guī)劃,華海清科表示,未來3-5年,公司將堅持以集成電路產(chǎn)業(yè)需求為導(dǎo)向,以自主研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用為關(guān)鍵突破口,加強與上下游核心企業(yè)的緊密合作,形成集成電路關(guān)鍵制造裝備、耗材及技術(shù)服務(wù)、晶圓再生代工業(yè)務(wù)協(xié)同發(fā)展的技術(shù)布局與市場定位,立足國內(nèi)、面向全球,努力提升在全球集成電路裝備領(lǐng)域的市場份額和影響力,發(fā)展成為國際知名的集成電路高端裝備及技術(shù)服務(wù)供應(yīng)商。

原文標(biāo)題:為中芯國際/長江存儲等提供CMP設(shè)備,這家設(shè)備廠商沖刺科創(chuàng)板

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