下圖為超聲波加工原理圖。

超聲波發作器將工頻溝通電能，改動為有必定功率輸出的超聲頻電振蕩，經過換能器將超聲頻電振蕩改動為超聲機械振蕩。此刻振幅通常較小，再經過振幅拓寬棒（變幅桿），使固定在變幅桿端部的東西振幅增大到0.01～0.15mm。運用東西端面的超聲（16～25kHz）振蕩，使作業液（通常水）中的懸浮磨粒（碳化硅、氧化鋁、碳化硼或金剛石粉）對工件外表發作碰擊拋磨，完畢加工。

超聲波加工的特征及運用

1）適用于加工各種脆性金屬資料和非金屬資料，如玻璃、陶瓷、半導體、寶石、金剛石等。

2）可加工各種雜亂形狀的型孔、型腔、形面。

3）被加工外表無剩余應力，無損壞層，加工精度較高，尺度精度可達0.01～0.05mm。

4）加工進程受力小，熱影響小，可加工薄壁、薄片等易變形零件。

5）單純的超聲波加工，加工功率較低。選用超聲復合加工（如超聲車削，超聲磨削，超聲電解加工，超聲線切開等），可顯著行進加工功率。