半導(dǎo)體光刻光源制造商Gigaphoton株式會(huì)社宣布，2020年將增加全新產(chǎn)品，其中包括采用新技術(shù)的最新半導(dǎo)體制造光刻光源ArF浸沒式激光器“GT66A”以及KrF激光器“G60K”這2種機(jī)型。

配備加快技術(shù)轉(zhuǎn)移的新技術(shù)

半導(dǎo)體光刻光源制造商Gigaphoton株式會(huì)社（總部：栃木縣小山市、董事長兼總經(jīng)理：浦中克己）宣布，2020年將增加全新產(chǎn)品，其中包括采用新技術(shù)的最新半導(dǎo)體制造光刻光源ArF浸沒式激光器“GT66A”以及KrF激光器“G60K”這2種機(jī)型。

隨著近年來IoT的普及以及AI的實(shí)際運(yùn)用，半導(dǎo)體用途不斷擴(kuò)大，從而要求半導(dǎo)體芯片需要進(jìn)一步加快通信速度，實(shí)現(xiàn)更大數(shù)量的數(shù)據(jù)處理。尤其在2020年，5G（第5代移動(dòng)通信）開始面向普通人群提供服務(wù)，因此需要10nm以下節(jié)點(diǎn)的小型、高速、低功耗邏輯IC以及用于存儲(chǔ)爆炸性增長數(shù)據(jù)的大容量存儲(chǔ)芯片。

新型ArF浸沒式激光器“GT66A”配備了新開發(fā)的光學(xué)模塊，成功降低了空間相干，并改善了曝光面的光束均勻性。新型KrF用激光器“G60K”進(jìn)行了時(shí)隔約15年的全型號(hào)變更，通過引進(jìn)新型電源單元，實(shí)現(xiàn)了以往1.5倍的輸出。Gigaphoton通過這些新技術(shù)為芯片制造商提供支持。

Gigaphoton董事長兼總經(jīng)理浦中克己表示：“隨著引進(jìn)IoT的產(chǎn)業(yè)設(shè)備及家電的普及，配合AI與5G，同時(shí)推動(dòng)工廠、醫(yī)療、汽車、社會(huì)基礎(chǔ)設(shè)施等多個(gè)領(lǐng)域的實(shí)時(shí)化以及智能化。我們將通過配備新技術(shù)的新產(chǎn)品線，為新一代產(chǎn)業(yè)界的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。”