馬薩諸塞州韋斯特伍德 - ADE公司推出了兩種軟件計(jì)量應(yīng)用:晶圓可視化工具和缺陷分析軟件包。
設(shè)備工具箱是一種新的“離線”軟件應(yīng)用程序,旨在幫助工藝工程師可視化和量化晶圓形狀,厚度和平整度的變化。 WaferAnalyzer 2.0旨在幫助工程師解決硅晶圓制造中的缺陷問題。這個(gè)新版本具有從晶圓檢測(cè)系統(tǒng)和幾何測(cè)量系統(tǒng)讀取多種文件格式的能力。
使用測(cè)量和差分(之前/之后)數(shù)據(jù),使用Device Toolbox的工程師可以開發(fā),診斷和ADE表示,保持熱,光刻,背面研磨和背面蝕刻工藝。設(shè)備工具箱獨(dú)立于ADE工具運(yùn)行。由任何ADE ASC或ASC-2000測(cè)量系統(tǒng)創(chuàng)建的厚度和形狀數(shù)據(jù)由Device Toolbox轉(zhuǎn)換為一個(gè)晶圓或整個(gè)批次的“測(cè)量”或差分信息的一維,二維或三維圖。/p>
Westwood公司表示,Device Toolbox具有成本效益,因?yàn)樗试S用戶只購(gòu)買他們需要的東西。未來的增強(qiáng)功能包括用于膠片應(yīng)力圖或場(chǎng)地平整度的可選應(yīng)力集和場(chǎng)地集模塊。這些將分別在第一和第二季度提供。
借助新的模式識(shí)別算法,WaferAnalyzer 2.0通過加速數(shù)據(jù)收集過程,自動(dòng)化報(bào)告和圖表功能以及為復(fù)雜數(shù)據(jù)提供可視化界面來增強(qiáng)流程工程。該公司表示,它基于Microsoft Windows 95和Windows NT,可以在工程師的桌面和潔凈室中運(yùn)行,使工藝工程師能夠更高效地工作,專注于流程優(yōu)化而不是數(shù)據(jù)收集。
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