MEMS傳感器作為獲取信息的關鍵器件，對各種傳感裝置的微型化起著巨大的推動作用，已在太空衛星、運載火箭、航空航天設備、飛機、各種車輛、生特醫學及消費電子產品等領域中得到了廣泛的應用。
MEMS傳感器典型應用如下圖：
隨著電子技術的發展，MEMS的應用領域越來越廣泛，由最早的工業、軍用航空應用走向普通的民用和消費市場。在智能手機上，MEMS傳感器提供在聲音性能、場景切換、手勢識別、方向定位、以及溫度/壓力/濕度傳感器等廣泛的應用；在汽車上，MEMS傳感器借助氣囊碰撞傳感器、胎壓監測系統（TPMS）和車輛穩定性控制增強車輛的性能；醫療領域，通過MEMS傳感器研成功制出微型胰島素注射泵，并使心臟搭橋移植和人工細胞組織成為現實中可實際使用的治療方式；在可穿戴應用中，MEMS傳感器可實現運動追蹤、心跳速率測量等。
汽車電子MEMS傳感器的應用
汽車電子產業被認為是MEMS傳感器的第一波應用高潮的推動者，MEMS傳感器在汽車上應用的快速發展主要是受益于各國政府全面推出汽車安全規定（比如要求所有汽車采用TPMS系統）和汽車智慧化的發展趨勢。全球平均每輛汽車包含10個傳感器，在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器，車越好，所用的MEMS就越多，BMW740i汽車上就有70多只MEMS。MEMS傳感器可滿足汽車環境苛刻、可靠性高、精度準確、成本低的要求。其應用方向和市場需求包括車輛的防抱死系統（ABS）、電子車身穩定程序（ESP）、電控懸掛（ECS）、電動手剎（EPB）、斜坡起動輔助（HAS）、胎壓監控（EPMS）、引擎防抖、車輛傾角計量和車內心跳檢測等等。
