多晶硅生產污染物回收處理流程圖
高純多晶硅生產，工業上廣泛采用三氯氫硅還原法，也稱西門子法。三氯化硅在還原爐中生產多晶硅的同時會生成副產品污染物四氯化硅。四氯化硅完全可以回收利用，加氫氣可以還原為三氯氫硅，再進一步作為原料加工成純硅，進入生產循環，提高產率；另一方面，四氯化硅也可以可以制作為白炭黑，用于化工生產，此外，四氯化硅還可以溶于水生成二氧化硅和氯化氫，二氧化硅可以用于制造玻璃，氯化氫可以做工業原料。
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多晶硅生產污染物回收處理流程圖
2009年11月20日 15:04 www.asorrir.com 作者：佚名 用戶評論（0）
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