顯影、蝕刻、去膜（DES）工藝指導(dǎo)書(shū)/說(shuō)明書(shū)
一.目的：本指導(dǎo)書(shū)規(guī)定顯影、蝕刻、去膜（DES）工位的工作內(nèi)容和步驟。
二.范圍：本指導(dǎo)書(shū)適用于內(nèi)層和掩孔法外層的顯影、蝕刻、和去膜的工作過(guò)程。
三.設(shè)備：
IML DES線
四.材料：
碳酸鈉、鹽酸、雙氧水、氫氧化鈉、去泡劑、軟化水、該工位的生產(chǎn)板。
五.工藝：
5．1操作步驟
5．11啟動(dòng)
將“MAIN SWITCH ”轉(zhuǎn)至“ON”的位置，送入主電力電源，在按下控制面板上“POWER”鈕，此時(shí)“POWER”鈕內(nèi)之顯示燈亮，并注意“END STOP”燈是否亮著，若有應(yīng)即將控制面板上或機(jī)臺(tái)上之緊急停止按鈕予以復(fù)歸.
5.12開(kāi)機(jī)操作順序
首先確定所有的開(kāi)關(guān)均置OFF狀態(tài)；
將CONTROL SOURCE的旋鈕旋開(kāi),使電源輸入；
將所有的加熱系統(tǒng)依流程順序壓下,先使其預(yù)熱；
再將所有的溫度設(shè)定器,依流程順序,設(shè)定在所需的作業(yè)溫度；
壓上CON鈕使其輸送,再調(diào)整CON SP ADJ旋鈕并調(diào)整適當(dāng)?shù)淖鳂I(yè)速度；
待溫度到達(dá)所設(shè)定之溫度時(shí)再將所有的PUMP鈕依順序壓下即完成作業(yè)前的開(kāi)機(jī)程序；
放板前10分鐘潤(rùn)濕輥輪。
5．13關(guān)機(jī)操作順序
依顯影、蝕刻、去膜順序依次關(guān)掉PUMP鈕，關(guān)掉所有加熱，熱風(fēng)車(chē)?yán)^續(xù)送風(fēng)，觀察蝕刻段溫度有否升高趨勢(shì)。當(dāng)熱風(fēng)車(chē)自動(dòng)停止，且蝕刻段溫度沒(méi)有升高趨勢(shì)時(shí)，壓下STOP按鈕，關(guān)掉總電源POWER，將MAIN SWITCH 轉(zhuǎn)至OFF。
5.14警報(bào)發(fā)生系統(tǒng)
故障警報(bào)系統(tǒng)依停機(jī)與否分二大類(lèi):
a.停機(jī):
此項(xiàng)警報(bào)定義為主機(jī)或其一電器元件發(fā)生異常而無(wú)法運(yùn)做或?yàn)楸Ｗo(hù)人體安全而設(shè)置,如其一故障或保護(hù)條件成立便會(huì)使系統(tǒng)停止,須將故障或異常問(wèn)題排除后再啟動(dòng)系統(tǒng)否則啟動(dòng)無(wú)效。
b.不停機(jī):
此項(xiàng)警報(bào)定義為預(yù)先警報(bào)或周邊設(shè)備警報(bào)發(fā)生不會(huì)影響主機(jī)系統(tǒng)生產(chǎn),所以異常發(fā)生本身停止運(yùn)轉(zhuǎn),而不會(huì)停止主系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)。
故障緊急處理方式:
步驟:
當(dāng)緊急狀況發(fā)生是時(shí),須先按"緊急停止"鈕,瞬間停止設(shè)備之一切動(dòng)作,以保安全；
停機(jī)后如內(nèi)部尚有板子在內(nèi)時(shí),先行確認(rèn)輸送系統(tǒng)無(wú)異常后,可用"EMG CON"鈕以寸動(dòng)的方式強(qiáng)行使輸送部分運(yùn)轉(zhuǎn),將板子送出；
將其板子全部輸送后,再將操作箱上之電源開(kāi)關(guān)關(guān)閉然后再檢查故障區(qū)域；
依指示區(qū)檢查確認(rèn)故障區(qū)的警示燈是何處故障；
待將所有的故障區(qū)全部檢修完畢,再開(kāi)機(jī)；
開(kāi)機(jī)時(shí)請(qǐng)遵守操作順序開(kāi)機(jī)；
接板時(shí)不允許有疊板現(xiàn)象。
5.2工藝控制：
5.21顯影段：
傳送速度:1.3-1.5m/min 控制點(diǎn):1.4m/min
顯影槽溫度:28-32℃ 控制點(diǎn):30℃
建浴槽溫度: 28-32℃ 控制點(diǎn):30℃
藥水濃度:0.8-1.1% 控制點(diǎn):1.0%
顯影壓力:上總壓:1.5-2.5 BAR 控制點(diǎn):2.0 BAR
下總壓:1.5-2.5 BAR 控制點(diǎn):2.0 BAR
烘干溫度：50℃
溶液更換與配制:
顯影槽: 每天更換槽液(由建浴槽直接注入)。
建浴槽: 低液位予警時(shí)配置。
配置方法: 建浴槽低液位予警時(shí),把7.5瓶500克碳酸鈉倒入建浴槽(通過(guò)建浴槽濾網(wǎng))然后向建浴槽注入軟化水,到指定位置(500升處),啟動(dòng)建浴槽攪拌和加熱。
*顯影時(shí)先做四塊首板,檢板人員檢驗(yàn)合格后方能批量生產(chǎn)。
5.22蝕刻段：
傳送速度:
內(nèi)層 : H oz 1.9-2.1m/min 控制點(diǎn):2.0m/min、1 oz 0.8-1.2m/min 控制點(diǎn):1.1m/min、2 oz 0.5-0.7m/min 控制點(diǎn):0.6m/min。
外層: 底銅，H oz 0.8-1.1m/min 控制點(diǎn):0.9m/min、1 oz 0.5-0.7m/min 控制點(diǎn):0.6m/min。
蝕刻溫度:48℃
蝕刻壓力:一槽:上總壓:2.9 kg/cm2下總壓:2.5kg/cm2
二槽:上總壓:3.0 kg/cm2 下總壓:2.4kg/cm2
AQUA控制器設(shè)定值(只由工藝工程師設(shè)定)
S.G : 1.26-1.30 控制點(diǎn):1.28
HCL : 2.50-3.50 控制點(diǎn):3.00
H2O2 : 18.0-25.0 控制點(diǎn):20.0
TEMP: 40.0-45.0℃ 控制點(diǎn):40.0 ℃
鹽酸和雙氧水添加槽低液位時(shí)分別添加精制鹽酸和雙氧水
(***兩個(gè)槽千萬(wàn)不能加錯(cuò)***)
*蝕刻時(shí)先做4塊首板,確認(rèn)無(wú)殘銅并經(jīng)檢板人員確認(rèn)后,方能批量生產(chǎn)。
5.23去膜段
傳送速度: 1.3-1.5m/min 控制點(diǎn):1.4m/min
去膜槽溫度: 38-42℃ 控制點(diǎn):40℃
建浴槽溫度: 38-42℃ 控制點(diǎn):40℃
藥水濃度: 1.5-2.5% 控制點(diǎn):2%
去膜壓力: 2.2-2.4 kg/cm2 控制點(diǎn):2.3 kg/cm2
烘干溫度：70℃
溶液更換與配置:
去膜槽:隔一天更換去膜槽藥液.
建浴槽:低液位予警時(shí)配制.
配制方法：將20瓶500克氫氧化鈉倒入建浴槽,(通過(guò)建浴槽濾網(wǎng)),然后向建浴槽注入軟化水至指定位置(500升處)啟動(dòng)建浴槽攪拌和加熱。
去泡劑添加槽：低液位時(shí)加入去泡劑400ml，然后加滿軟化水。
*確任4塊首板無(wú)殘膜時(shí)方能批量生產(chǎn)。
5．3維護(hù)保養(yǎng)：
每天清洗各水洗段濾網(wǎng)，更換水槽中的水。每天目視檢查各噴嘴是否堵塞。
每周對(duì)顯影段和去膜段以及水洗段進(jìn)行徹底清洗，清洗方法如下：
a. 把槽中溶液排凈，往顯影槽和去膜槽中以及水洗槽中注入軟化水，在顯影槽和去膜槽中各加20升濃堿（氫氧化鈉），三段水洗各加10升濃堿（氫氧化鈉），開(kāi)啟噴淋，循環(huán)30分鐘，停止噴淋。
b. 排凈槽中清洗液。重新往顯影槽和去膜槽中以及水洗槽中注入軟化水，開(kāi)啟噴淋，循環(huán)30分鐘，停止噴淋，排凈槽中清洗液。
c. 把槽中溶液排凈，往顯影槽和去膜槽中以及水洗槽中注入軟化水，顯影槽和去膜槽中加20升濃鹽酸，三段水洗各加10升濃鹽酸，開(kāi)啟噴淋，循環(huán)30分鐘，停止噴淋。
d. 排凈槽中清洗液。重新往顯影槽和去膜槽中以及水洗槽中注入軟化水，開(kāi)啟噴淋，循環(huán)30分鐘，停止噴淋，排凈槽中清洗液。
e. 然后在顯影槽和去膜槽中分別添加已經(jīng)配制好的碳酸鈉和氫氧化鈉溶液。向水洗段加滿軟化水。開(kāi)始生產(chǎn)。
六 、安全事項(xiàng)：
謹(jǐn)慎操作，若有疑問(wèn)，與工藝聯(lián)系。
操作者在處理過(guò)顯影液后必須洗手.在添加鹽酸和雙氧水時(shí)戴塑膠手套,面具、口罩，穿防護(hù)服,若藥液濺到皮膚或眼睛立即用干凈布或紙擦干,并用大量清水沖洗,必要時(shí)就醫(yī)..添加氫氧化鈉時(shí)戴塑膠手套,若沾到固堿或藥液,立即用大量清水清洗,必要時(shí)就醫(yī).
七、自檢：
顯影后: 圖形必須完整,無(wú)殘膜，無(wú)過(guò)顯影、無(wú)顯影不清。
蝕刻后: 圖形必須完整,無(wú)殘銅。
去膜后:無(wú)殘膜。
八、記錄表單：<施工票>、<返工單>、<報(bào)廢單>。
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