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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS無(wú)線數(shù)顯角度測(cè)量?jī)x設(shè)計(jì)_何榮華立即下載
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監(jiān)測(cè)人體健康和運(yùn)動(dòng)表現(xiàn)立即下載
2017-06-20 標(biāo)簽:mems光學(xué)傳感器微型傳感器 1024 0
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2017-02-07 標(biāo)簽:MEMS數(shù)字信號(hào)露點(diǎn)傳感器 957 0
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