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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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“IC與MEMS的集成與融合,是傳感技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的必由之路,特別是高檔傳感器、智能傳感器。” 中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會傳感器分會名譽理事長、沈陽儀表科學(xué)院原...
2018-11-28 標簽:溫度傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 1783 0
例如傳統(tǒng)的光纖陀螺儀,由上圖可見,體積雖然越來越小,但對于放入一些電子產(chǎn)品而言是不可能完成的。而且為了保證性能,這樣一個陀螺儀的產(chǎn)量之低和價格之高也是可想而知。
2021-09-01 標簽:傳感器MEMS工業(yè)物聯(lián)網(wǎng) 8749 0
意法半導(dǎo)體MEMS壓電絕對氣壓傳感器LPS22HH
意法半導(dǎo)體LPS22HH MEMS壓電絕對氣壓傳感器的精確度和穩(wěn)定性俱佳,設(shè)備制造商在焊接后無需執(zhí)行單點校準(OPC)工序,從而提高產(chǎn)量和效率。
2018-11-28 標簽:傳感器MEMS意法半導(dǎo)體 8790 0
Quanergy的LiDAR傳感器在六大關(guān)鍵商業(yè)化指標(成本、性能、可靠性、尺寸、重量和功率效率)上均處于領(lǐng)先地位,同時滿足利用固態(tài)技術(shù)進行大規(guī)模部署所...
Bourns新推出微機電系統(tǒng)環(huán)境傳感器
美國柏恩Bourns全球知名電子組件領(lǐng)導(dǎo)制造供貨商,近日推出了微機電系統(tǒng)(MEMS)環(huán)境傳感器,Bourns精密傳感器(BPS)系列提供的產(chǎn)品分別為三個...
清華大學(xué)尤政院士在論壇致詞中講到中國制造需要實現(xiàn)自主可控,“中興事件”后,國家發(fā)現(xiàn)我們大部分芯片都不能實現(xiàn)自主可控,對于我們MEMS人來說肩上的擔(dān)子很重。
河南省智能傳感器創(chuàng)新聯(lián)盟成立,為鄭州建設(shè)提供技術(shù)和動力支撐
河南省智能傳感器創(chuàng)新聯(lián)盟由鄭州大學(xué)、漢威科技集團股份有限公司等國內(nèi)知名高校、科研院所及傳感器行業(yè)相關(guān)企業(yè)發(fā)起成立。鄭州大學(xué)校長劉炯天院士說,成立河南省智...
首次在MEMS器件中嵌入AI技術(shù),為邊緣計算創(chuàng)造機會
據(jù)麥姆斯咨詢報道,加拿大魁北克Universite de Sherbrooke(舍布魯克大學(xué))的研究人員已經(jīng)成功地在MEMS(微機電系統(tǒng))器件中設(shè)計了一...
2018-11-18 標簽:mems神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)ai 1284 0
據(jù)麥姆斯咨詢報道,Microchip推出了業(yè)界尺寸最小的MEMS時鐘發(fā)生器DSC613。這款新器件可在電路板上最多替換掉三個晶振和振蕩器,從而減少高達8...
意法半導(dǎo)體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計,可以在超低功耗和高分辨率之間動態(tài)改變工作模式,在有限的功耗預(yù)算內(nèi)實現(xiàn)高精度測量。
據(jù)麥姆斯咨詢報道,Si-Ware宣布開始規(guī)模量產(chǎn)全球最小的高精度光譜傳感器,可用于分析幾乎所有材料的樣品。
意法半導(dǎo)體推出超低功耗和高分辨率可互換的IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計
2018年11月12日 - 意法半導(dǎo)體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計,可以在超低功耗和高分辨率之間動態(tài)改變工作模式,在有限的功耗預(yù)算內(nèi)實現(xiàn)高...
2018-11-13 標簽:mems意法半導(dǎo)體加速度計 7112 0
毫無疑問,汽車產(chǎn)業(yè)正在朝著自動駕駛方向發(fā)展,而高級駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)是實現(xiàn)自動駕駛發(fā)展的重要前提。到2020年,美國和歐盟出售的所有新車都必須配備...
Vesper應(yīng)該繼續(xù)專注于將壓電MEMS麥克風(fēng)推向市場
如果將薄膜厚度減半,就可以將薄膜面積和芯片尺寸縮小一半。雖然目前我們正在使用物理氣相沉積(physical vapor deposition,PVD)來...
美國最大的純MEMS代工廠IMT宣布完成由Cerium Technology領(lǐng)導(dǎo)的股權(quán)融資
此次融資將用于增加公司標準工藝平臺的研發(fā)投入,升級現(xiàn)有設(shè)備,并完成IMT新的8英寸(200mm)晶圓生產(chǎn)線的建設(shè)。“我們看到市場對光學(xué)、無線、物聯(lián)網(wǎng)和醫(yī)...
2018-11-07 標簽:MEMS物聯(lián)網(wǎng) 5062 0
SiTime面向5G基礎(chǔ)設(shè)施推出Emerald平臺
11月5日,MEMS 時序領(lǐng)域的領(lǐng)先提供商 SiTime公司宣布推出革命性的高精度時序解決方案——Emerald平臺,解決5G基礎(chǔ)設(shè)施設(shè)備的關(guān)鍵時序挑戰(zhàn)...
解決5G設(shè)備時序痛點 Emerald提升性能20倍
OCXO在時序中提供了頂級性能,是所有通信網(wǎng)絡(luò)可靠運行的關(guān)鍵。和5G之前OCXO基本被部署在良好受控的環(huán)境中不同,5G時代的計算、核心網(wǎng)絡(luò)和無線電都將被...
飛利浦創(chuàng)新服務(wù)公司如何從眾多競爭對手中脫穎而出?
據(jù)麥姆斯咨詢介紹,過去十年里,MEMS超聲波換能器技術(shù)的發(fā)展令市場高度興奮。如今,使用電容特性的CMUT已經(jīng)成為體壓電模組的卓越替代者,可以使產(chǎn)品更小、...
MEMS生產(chǎn)技術(shù)或微機械加工技術(shù),最初是為了制造硅集成電路而開發(fā)的。這項技術(shù)徹底革新了電路的微型化,使功能強大的計算機從半個世紀前的房子大小,縮小到我們...
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