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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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進博會展品搶先看,英飛凌攜3D打印人形機器人Roboy 2.0首度亮相中國
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9月4日消息,液晶背光模塊廠中光電宣布,已于7月底新設100%持股子公司中光電智能感測,并于9月初完成收購智動全球(Global MEMS)微機電系統(...
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PZT壓電薄膜是構成MEMS傳感器和執行器的關鍵技術,但其制備工藝在過去很難實現,傳統上主要采用低溫的涂覆方法(溶膠-凝膠法)。然而,在2015年,UL...
思特威科技與MEMS Drive聯手發力CMOS圖像傳感芯片級防抖技術
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