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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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8power由劍橋大學微系統技術教授Ashwin Seshia等人于2015年1月共同創立,致力于基于參量共振的振動能量收集技術(通過MEMS技術收集)的應用。
相比傳統的機械傳感器與致動器,MEMS 具有微型化、重量低、功耗低、成本低、多功能等競爭優勢,可通過微納加工工藝進行批量制造、封裝、測試,因而 MEMS...
MEMS被認為是21世紀最有前途的技術之一,如果半導體微制造被視為第一次微制造革命,MEMS則是第二次革命。通過結合硅基微電子技術和微機械加工技術,ME...
現在市場上有各種氣體傳感器,被廣泛應用于民用、工業環境監測和日常生活中。具體來說,當前氣體傳感器市場增長的關鍵原因主要有以下幾個:一是由于醫療設施對強化...
而MEMS國產代工龍頭——賽微電子通過內生發展及外延并購,以MEMS傳感器為戰略性業務進行聚焦發展。日前,賽微電子公開表示:“北京MEMS產線基地廠房建...
中環股份主要從事光伏硅片與半導體硅片的研發與生產,而硅材料是半導體產業最為基礎的材料,從產業鏈來看其位于整個電子產業的最上游。
三菱電機推出新的LiDAR解決方案,有助于實現安全的自動駕駛
據悉,新的LiDAR解決方案通過激光照射物體,并使用雙軸(水平和垂直)MEMS鏡來掃描反射光,從而生成車輛和行人的三維圖像。三菱電機希望這種緊湊、性價比...
截至2019年12月31日,敏芯股份共擁有境內外發明專利38項、實用新型專利19項,正在申請的境內外發明專利32項、實用新型專利24項。公司依靠核心技術...
該項目于去年12月宣布,聯邦理工學院的科學家們利用了被稱為結構色的方法。研究小組指出,它創造顏色的方式與變色龍相似,即利用其皮膚的結構來散射特定波長的光。
傳感器(英文名稱:transducer/sensor)是一種檢測裝置,能感受到被測量的信息,并能將感受到的信息,按一定規律變換成為電信號或其他所需形式的...
IHS MEMS及傳感器業務總監Jérémie Bouchaud指出,在今后5到10年內,智能手機以及平板電腦仍然是MEMS主要應用領域。今后MEMS的...
隨著高端汽車與智能汽車的普及,以及無人駕駛技術的推進,超聲波傳感器、圖像傳感器、激光雷達傳感器、微波傳感器、紅外傳感器等也都被采用。汽車傳感器已經成為M...
近日,揚州大學機械工程學院副教授梁峰帶領的科研團隊對“MEMS陀螺儀的動力學特性”進行了深入分析,研究發現采用壓電薄膜,可大大提高陀螺儀的靈敏度。
博世集團是世界先進的技術及服務供應商。從MEMS技術問世開始,博世始終處于MEMS(微機電系統)技術的前沿位置。如今,博世已成為全球的MEMS傳感器的頭...
減少極板之間的距離也會提高性能,但這就產生了另一個一直困擾靜電MEMS問題——靜摩擦。如果極板太近,他們會粘住,可能永遠不會產生分開。靜電能量轉換的物理...
為了提高汽車設計的安全性,村田(Murata)近期發布了其最新6軸一體封裝、3D MEMS慣性力傳感器“SCHA600系列”,慣性傳感器將其數據與GNS...
MEMS傳感器 應用于無創胎心檢測,檢測胎兒心率是一項技術性很強的工作,由于胎兒心率很快,在每分鐘l20~160次之間,用傳統的聽診器甚至只有放大作用的...
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