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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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SICK TiM系列的2D LiDAR傳感器不僅能確保車輛平穩行駛,還能提供精確的導航測量數據。除此之外,更首次針對相應的安全類應用提供了性能等級為PL...
石墨烯NEMS/MEMS傳感器結合硅技術將實現新的智能系統,增強人類的福祉、食品安全、交通安全、污染監控以及國土安全。這項研究作為NanoGraM項目的...
一說到扭矩傳感器,可能很多人一下子覺得頭腦空白,光是提及這個扭矩傳感器這個代名詞,我也覺得很空洞,對它沒任何概念。那我再給大家多一點提示吧,扭矩傳感器一...
當我們談論SLAM時,最先問到的就是傳感器。SLAM的實現方式與難度和傳感器的形式與安裝方式密切相關。傳感器分為激光和視覺兩大類,視覺下面又分三小方向。
傳感技術是感知、獲取與檢測信息的窗口,它能夠實現數據的采集量化、處理融合和傳輸應用。通過傳感器對血液環境溫度、密封狀況和振蕩程度等的實時監測和采集,再通...
智能傳感器是具有信息處理功能的傳感器。智能傳感器帶有微處理機,具有采集、處理、交換信息的能力,是傳感器集成化與微處理機相結合的產物。
一般來說,要想對咖啡機中加入原料的狀態進行檢測,需要采用霍爾傳感器。其原理如上圖所示,咖啡機中原料重量的變化,會引起連帶磁體位置的變化,導致其遠離或者靠...
氣壓傳感器是一類非常有用的MEMS器件。它們在物聯網(IoT)中有非常廣泛的應用,從氣象監測到室內資產跟蹤。
如果從事自動化控制工作的儀表人不清楚無源信號、有源信號、無源接點(干接點)、有源接點(濕接點),必然會很頭大。本文是介紹這些知識點的干貨文章,希望對大家...
具有代表性的基于金屬氧化物半導體敏感材料(MOS)氣體傳感器已廣泛應用于安全、環境、樓宇控制等領域的氣體檢測,該類傳感器的能耗是制約其大規模布設的核心節...
本文為OnScale與Mentor合作推出,由行業專家撰寫,文章詳細介紹了壓電MEMS超聲波換能器產品的設計過程,包括傳感器的仿真、設計以及它與整個系統的集成。
由于磁性傳感技術不會受到灰塵、污垢、油脂、振動以及濕度的影響,因此磁傳感器在工業設備和電子儀器中有著廣泛的應用,如磁共振成像、生產的自動控制、流程工業、...
MEMS技術被廣泛應用于光纖通信系統中,MEMS技術與光學技術的結合,通常稱作MOEMS技術。最為常用的MOEMS器件包括光衰減器VOA、光開關OS、可...
光交叉互連開關(OXC)是一種N×N端口的矩陣光開關,可用于構建CDC ROADM(無色、無方向性、無競爭的可重構光上/下路復用器)。
MEMS全稱Micro Electromechanical System(微機電系統),是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機電系統,微機械結構的制備...
ROADM(Reconfigurable Optical Add-Drop Multiplexer)是可重構光分插復用器,一種使用在密集波分復用(DWD...
光纖通信系統中,光開關(Optical Switch,OS)主要用于光路中實現光信號的物理切換或其他邏輯操作,多用于光交叉連接OXC(Optical C...
激光雷達被認為是各行各業的關鍵傳感技術,在機器人、無人駕駛、智慧城市等領域充當著推動者的角色。而近年來一直被寄予厚望的固態激光雷達成為業內關注的熱點。何...
蚌埠市與中國兵器工業集團214所共同建設的8英寸MEMS制造與微系統集成工程建設項目建設周期為2年,總投資10億元,建設目標是打造國內領先的8英寸MEM...
流量測量是研究物質量變的科學,質量互變規律是事物聯系發展的基本規律。因此,其測量對象已不限于傳統意義上的管道液體,凡需掌握量變的地方都有流量測量的問題。...
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