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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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MEMS傳感器即微機電系統(Micro-electro Mechanical Systems),是指將精密機械系統與微電子電路技術結合發展出來的一項工程...
一種用于實時監測銀納米顆粒沉積和室內顆粒的MEMS傳感器裝置
能夠集成進入有線/無線傳感器網絡的微型傳感器,使環境參數的高保真、連續監測成為可能。利用這些傳感器克服當前監測設備局限性的方向之一,是重量傳感。
傳統的力傳感器采用的力敏元件件或應變片多為金屬或導電聚合物。而基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技術制造的力...
在生命體征監測領域,這種應用專業知識得到了開發平臺的支持。例如,生命體征監測 (VSM) 研究手表是一個多參數開放式開發平臺。它配備了一套方便的可穿...
一加OnePlus Buds N采用了橢圓形柱體的設計,外表使用鋼琴烤漆工藝處理,摸起來更加光滑,也使得OnePlus Buds N更具音樂氣質,在充電...
如何建立基于MEMS的解決方案,以在狀態監控期間實施振動檢測
本文介紹一種基于ADXL1002 MEMS加速度計的高線性、低噪聲、寬帶振動測量解決方案。這種解決方案可用于實施軸承分析或發動機監測,且適用于所有需要動...
電子產品是 汽車 行業的核心,電動汽車 (EV) 將越來越重要。微電子技術,特別是大功率電子技術的巨大發展,導致信息娛樂、照明和傳感器應用顯著增加,這些...
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