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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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湖北省發改委下發《關于公布2021年湖北省工程研究中心認定名單的通知》,泰晶科技微納米器件湖北省工程研究中心獲得批復,成為隨州市首家認定的省級工程研究中心。
MEMS加速度計有哪些類型? MEMS加速度計以集成電路工藝和微機械加工工藝為基礎,將電子原件和機械原件集成在一塊芯片上,具有體積小、質量輕、成本低、能...
Fraunhofer數字媒體技術研究院和硅技術研究院開發出MEMS微型揚聲器
弗勞恩霍夫數字媒體技術研究院和硅技術研究院聯合開發項目——“移動應用智能MEMS揚聲器”已經合作研究了3年,致力于開發高能效且可以完整集成的芯片級揚聲器...
2018-05-21 標簽:memsFraunhofer微型揚聲器 2239 0
中國科學技術大學精密機械與精密儀器系副教授張世武研究團隊、澳大利亞伍倫貢大學教授李衛華研究團隊和蘇州大學機器人與微系統中心副教授李相鵬研究團隊組成的聯合...
本視頻是ADI公司(Analog Devices, Inc.)舉辦的“2011年中國大學創新設計競賽”獲獎作品演示視頻。視頻中的作品運用了ADI公司AD...
什么是MEMS MEMS(Micro Electromechanical System,即微電子機械系統)是指集微型傳感器、執行器以及信號處理和控制電...
2010-04-02 標簽:MEMS 2230 0
減少極板之間的距離也會提高性能,但這就產生了另一個一直困擾靜電MEMS問題——靜摩擦。如果極板太近,他們會粘住,可能永遠不會產生分開。靜電能量轉換的物理...
近日全球MEMS供應鏈及物聯網峰會暨MEMS Industry Group(MIG)全球MEMS產業聯盟峰會在上海召開,會議匯集全球MEMS業界精英,聚...
Apexone Microelectronics is an innovative fabless semiconductor company that...
據了解,瑞典Silex擁有的成熟運轉的MEMS產線現已完成升級擴產,原有6英寸產線(FAB1)已升級切換成8英寸產線,原有8英寸產線(FAB2)亦已完成擴產。
廣州增芯12英寸MEMS芯片量產線搬入光刻機,順利進入調試投產準備階段
據傳感器專家網獲悉,3月11日,廣州增芯科技有限公司12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目在廣州增城開發區舉行光刻機搬入活動,標志著增芯項目...
工業自動化是在工業生產中廣泛采用自動控制、自動調整裝置,用以代替人工操縱機器和機器體系進行加工生產的趨勢。隨著智能制造的發展,人機交互、自動化、智能化應...
在未來傳感器技術的發展方向上,四家來自傳感器領域的“主力部隊”基本表示認可,只是在現有市場下更多客戶關注的是價格,并不在乎MEMS產品的封裝形式、芯片性...
MEMS電極與CMOS電路植入式腦機接口系統可實現微針陣列一次植入
? 8月,由趙繼宗和李培根2位院士與9位行業內頂尖科學家組成專業鑒定組的“植入式腦機接口系統”科技成果評價會在湖北武漢召開。會上,專家組通過聽取匯報、審...
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