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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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虹科技術 | 用于氣體密度和粘度傳感器應用的壓電 MEMS 懸臂梁的設計、模擬、制作和表征
虹科技術用于氣體密度和粘度傳感器應用的壓電MEMS懸臂梁的設計、模擬、制作和表征摘要經設計、模擬、制作和測試,基于MEMS懸臂的諧振器用于壓電驅動和感測...
在上一篇推文《虹科小課堂|帶你了解MEMS傳感器》中,我們大致介紹了MEMS傳感器的分類、市場發展以及幾類常見的MEMS傳感器。本文將以廣州虹科電子科技...
2021-10-29 標簽:mems 1470 0
微機電系統(MEMS)壓力傳感器是一種基于微納技術的傳感器,可廣泛應用于各個領域。本文將探討MEMS壓力傳感器的主要應用領域有哪些,包括汽車工業、醫療保...
從MEMS技術創新、規模化應用到標準化引領,RoboSnse速騰聚創推動激光雷達行業長遠發展
規模化在汽車產業中向來是重要議題,對于車載傳感器行業而言更是如此。RoboSense速騰聚創希望通過經驗分享,賦能行業持續整合產業鏈資源,不斷擴大激光雷...
2023年6月13日,中國?– 服務多重電子應用領域、全球排名前列的半導體公司意法半導體(STMicroelectronics,簡稱ST;紐約證券交易所...
萬物互聯時代,只要需要感知的領域,都需要傳感器。MEMS慣性傳感器應用到汽車上,就化身成汽車“五官”,實時檢測和測量加速度、傾斜、旋轉和多自由度運動,精...
年產值30億元! 安徽啟泰傳感車用金屬基MEMS壓敏芯片量產線和傳感器生產項目在桐城開工
6月12日上午,安徽啟泰傳感科技有限公司車用金屬基MEMS壓敏芯片量產線和傳感器生產項目開工儀式在桐城經開區舉行。 據悉,湖南啟泰傳感科技有限公司是國內...
“三個百萬”訂單,中國電科產業基礎研究院MEMS傳感器加速應用“上車”
近日,中國電科產業基礎研究院美泰科技微機電系統(MEMS)傳感器市場拓展再獲突破,自主研發的MEMS慣性器件與系統累計實現百萬級裝車,并獲得多家重點新能...
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