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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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#CIPPE2025收官日# 艾瑞科高精度燃爆全場！

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來源：深圳市南山區(qū)工業(yè)和信息化局據傳感器專家網獲悉，11月2日，深圳市南山區(qū)工業(yè)和信息化局發(fā)布《深圳市南山區(qū)創(chuàng)新型現代產業(yè)體系“十四五”發(fā)展規(guī)劃》(以...

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祥解MEMS的前世今生，商用化緩慢然而前景廣闊微機電系統(tǒng)(MEMS)在1954年由貝爾實驗室的Charles Smith通過硅的壓阻效應發(fā)明，在不到...

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