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      廠商產品 +關注129人關注

      微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

      文章：3532個 瀏覽：192988次 帖子：462個

      mems技術

      硅通孔TSV-Through-Silicon Via

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      編者注：TSV是通過在芯片與芯片之間、晶圓和晶圓之間制作垂直導通；TSV技術通過銅、鎢、多晶硅等導電物質的填充，實現硅通孔的垂直電氣互聯，這項技術是目前...

      2023-07-03 標簽：CMOSmems晶體管 4247 0

      北京大學在壓電MEMS領域取得重要進展：讓一塊壓電陶瓷實現了兩個馬達的驅動功能！

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      近日，北京大學董蜀湘教授課題組在壓電MEMS領域獨辟蹊徑：發明了一種壓電馬達，只需一個壓電陶瓷，就可產生兩個對稱驅動和實現兩個對稱運動輸出功能。而傳統上...

      2023-06-27 標簽：mems電機壓電陶瓷 1688 0

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      動作捕捉系統的一般性結構主要分為三個部分：數據采集設備、數據傳輸設備、數據處理單元，慣性式動作捕捉系統即是將慣性傳感器應用到數據采集端，數據處理單元通過...

      2023-06-26 標簽：傳感器mems陀螺儀 2182 0

      超級全面！一文看懂***：MEMS傳感器及芯片制造的最核心設備

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      文章大綱 光刻是芯片制造最核心環節，大陸自給率亟待提升 ·光刻機是芯片制造的核心設備，市場規模全球第二 ·一超兩強壟斷市場，大陸卡脖子現象凸顯 光刻機：...

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      傳感器和數字技術的進步如何幫助改善患者護理

      這讓我們能夠在醫院以外實施醫療監測和檢驗，可以在本地醫療機構（例如GP practices）或患者家中執行。為了給患者帶來更大的便利，可穿戴設備（例如貼...

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