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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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MEMS是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的,目前MEMS加工技術還被廣泛應用于微流控芯片與合成生物學等領域,從而進行...
MEMS是一種全新的必須同時考慮多種物理場混合作用的研發領域,相對于傳統的機械,它們的尺寸更小,最大的不超過一個厘米,甚至僅僅為幾個微米,其厚度就更加微...
加速計和陀螺儀是獲取無人機、蜂窩電話、汽車、接收機和移動物聯網設備中加速和旋轉信息的傳感器選擇。但加速計和陀螺儀都容易有誤差,加速計可能出現噪音、陀螺儀...
MEMS加速度計和MEMS陀螺儀區別 常見MEMS加速度傳感器介紹
最大的區別就是:工作原理和應用的區別(具體概念看下百科),前者是利用加速度,后者是利用慣性;前者是用在測斜調平,后者是知道通過知道角速率,可以知道物體的...
MEMS陀螺儀也稱電子式陀螺儀,就是一塊芯片。 Iphone 4上的陀螺儀就是這種,主要作用是在GPS沒有信號時,通過陀螺儀的作用仍然能夠繼續精確導航。
通常情況,氣體檢測模塊工作在室溫(最大溫度為60℃)。而Micro-Hybrid氣體檢測模塊的最高工作溫度可達180℃,可以用于高溫、高濕環境下測量氣體...
可能大部分對MEMS還是比較陌生,但其實MEMS在生活中早已無處不在了,智能手機、手環、汽車、無人機、VR/AR頭戴式設備等,都應用了MEMS器件。
來看看它的具體結構,下面的圖片中即是主要部分的結構透視圖。其中標記為140的是激光發射裝置,一般情況下發射組成圖像的RGB光源。標記為102的是光學元件...
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