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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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超聲基因轉移比其他細胞轉移技術更有優勢,因為超聲不直接作用于細胞,而是通過聲孔效應將細胞周圍的基因片段推入細胞。據麥姆斯咨詢報道,近日,一支由中國廣西大...
電池供電的產品通常都采用一個或多個計時元件。如果使用了一個XTAL,它不會直接從蓄電池汲取電流。然而,要使諧振器振蕩,必須由一個駐留在一個MCU或SoC...
現在智能家居中的傳感器基本都是集成傳感器,集成傳感器是利用集成電路工藝將半導體敏感元件、測量處理電路集成在一個芯片上制成的性價比高、使用方便的小型化傳感器。
利用材料特性進行有利組合,硅、鋁和鈦的氮化物(nitrides)以及碳化硅(siliconcarbide)和其他陶瓷越來越多地應用于MEMS制造中。
進行MEMS制造的最基本需求是能夠沉積1到100微米之間的材料薄膜。NEMS的制造過程是基本一致的,膜沉積的測量范圍從幾納米到一微米。
STI3000動態晶圓級測試系統采用STI的專利技術(DST),通過一個驅動電壓在晶圓上驅動MEMS移動,從而測量由此產生的相關各種特性,是目前全世界最...
動作捕捉系統的一般性結構主要分為三個部分:數據采集設備、數據傳輸設備、數據處理單元,慣性式動作捕捉系統即是將慣性傳感器應用到數據采集端,數據處理單元通過...
封裝的根本目的在于以最小的尺寸和重量、最低的價格和盡可能簡單的結構服務于具有特定功能的一組元器件。封裝必須提供元器件與外部系統的接口。歸納起來,MEMS...
關于卡爾曼這部分內容,一直思考怎么用通俗易懂的方式來按照自己的理解梳理。但是無奈,總是繞不開用數學的方法表達那 5 個關鍵的公式。不論是在B站,還是各個...
為什么MEMS加速度計正在成為設計人員在CbM應用中的最佳選擇
全球狀態監測(CbM)市場在過去幾年中經歷了顯著增長,并且這種情況似乎將繼續下去。1這種增長恰逢MEMS加速度計用于振動傳感應用的快速發展,現在可以與曾...
光聲效應(photoacousticeffect)在19世紀被發現,它可以將光轉換成聲音。當物質受到周期性強度調制的光照射時,產生聲信號的現象。
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