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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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基于MEMS技術的微型光束操縱器件有望實現更輕、更低成本的激光雷達
“機器人和無人機是絕對可能的應用領域,”Gylfason說,“目前的激光雷達系統對于自動駕駛汽車而言成本過于高昂,而汽車產業對成本非常敏感。其他可能的應...
基于MEMS技術的微型硅基聲吶器件提供了毫米級精度的距離傳感功能
超低功耗的片上系統(SoC)控制整個ToF處理過程:發送超聲波脈沖,將接收的超聲回波數字化,檢測ToF到最近目標并通過I2C返回16位ToF信號。SoC...
ADI公司推出了一款雙軸傾斜計傳感器能提供出小于0.1度線性傾斜誤差
ADIS16209作為業界最精密的微電子機械系統(MEMS)傾斜計,提供小于0.1度線性傾斜誤差的全補償直接角度輸出,從而使其精度提高到至少是同類傾斜傳...
美國國家標準技術研究院將采用非接觸式光學儀器來檢測MEMS的結構
美國國家標準技術研究院把非接觸式光學測量儀器連接在一個基于互聯網的MEMS計算器上。利用簡單有效的光學干涉儀。這個方法使得工程師在光學干涉儀中插入測量值...
在伯克利學習微機電系統工程博士學位期間,Ernest不僅專注于學業,開始專注于射頻MEMS。他在黎明時分在MEMS實驗室開始他的一天,經常整天待在實驗室...
現在,傳感器和傳感器處理方面的技術發展可實現完全嵌入式自主檢測系統的部署,并且能夠可靠地對設備缺陷、不平衡、性能變化以及其他異常進行檢測和分析,如圖1所示。
TDK推出的全球第一款MEMS超聲波飛行時間傳感器的詳細資料說明
基于 MEMS 的微型“硅芯片聲吶”裝置提供了毫米級精度的距離傳感功能,并具有業內最低的功耗。這種 MEMS 超聲波傳感器可用于距離測量、位置追蹤、人員...
最新傳感器技術:MEMS陀螺儀在任何情況下都能精確的慣性傳感
為了滿足這一需求,ADI公司開發了一種帶有集成信號調理功能的新型高溫MEMS陀螺儀, ADXRS645。該傳感器即使在存在沖擊和振動的情況下也能實現精確...
2019-04-10 標簽:mems 4719 0
北京康斯特儀表科技股份有限公司(以下簡稱“公司”、“本公司”或“康斯特”)于2017年8月15日召開的第四屆董事會第二次會議審議通過了《關于投資建設儀器...
顧杰斌團隊研發的MEMS-Casting?技術實現了MEMS和鑄造的完美結合
MEMS技術與鑄造的結合,緣自它們之間的一個共通點:兩者都是機械部件制造技術,區別在于尺度上存在幾個數量級差異。相對于其他機械加工方法,例如車,銑,拋等...
從消費類多媒體產品到工業自動化和監視系統、網絡和通信基礎設施以及堅固的軍用設備,所有數字電子產品都有一個滴答作響的“心臟”,即一個準確的振蕩器。歷史上,...
近日,意法半導體(ST)在上海召開媒體溝通會,ST模擬、MEMS及傳感器事業部副總裁兼MEMS傳感器產品部總經理Andera ONETTI表示,對于整個...
美國模擬器件公司ADI推出了一款多軸運動傳感器ADIS16355
ADIS16355可以很容易地與工業系統設計融為一體,通過精確的運動分析與控制,提高系統性能,并使設計人員的研制時間縮短長達一年。新的慣性測量裝置擴展了...
本文介紹ADI公司突破性的微機電系統(MEMS)開關技術。與傳統機電繼電器相比,ADI公司的MEMS開關技術使RF和DC開關性能、可靠性及小型化實現了跨...
加速度是描述物體速度變化快慢的物理量,通過測量由于重力引起的加速度,你可以計算出設備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態加速度,你可以分析出設備移動的方式。
“傾角傳感器”顧名思義,就是測量傾斜角度的一種角度傳感器。傾角傳感器應用場所極多,隨著MEMS技術的發展,傾角傳感器得到越來越廣泛的應用。適合應用于工廠...
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