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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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中山大學電子與信息技術學院林佑昇副教授團隊近日在Electronics期刊上發表了一篇綜述文章,研究并評估了利用靜電驅動(ESA)、電熱驅動(ETA)、...
原子層沉積(ALD)工藝助力實現PowderMEMS技術平臺
Fraunhofer ISIT的PowderMEMS是一項新研發的創新技術,用于在晶圓級上從多種材料中創建三維微結構。該技術基于通過原子層沉積(ALD)...
高性能運動跟蹤技術已經從深奧的軍事、航空電子設備、海洋和工業應用遷移到不斷擴大的消費應用范圍。盡管如此,將高性能運動跟蹤引入消費市場通常會迫使設計人員協...
5.??? MEMS 振蕩器對 EMI 的敏感度要低得多 電磁能在大多數系統中很常見,可以通過將晶體諧振器連接到包含振蕩器電路的 IC 的暴露 PCB ...
1 簡介 半導體組件有望在產品的整個生命周期內可靠地運行。 選擇具有最高可靠性等級的設備可以限制故障組件導致現場產品出現故障的可能性。 SiTime 提...
一、什么是5G 5G是第五代移動通信技術(5th-Generation)的簡稱,是新一代的蜂窩移動通信技術,也是繼4G、3G、2G系統之后的延伸,5G的...
電子發燒友網報道(文/程文智)不論我們設計的電子產品是應用在云計算、無線LTE、數據中心,還是物聯網、汽車、醫療保健,或者是航空航天等領域,系統內必然需...
MEMS也即微機電系統,電子專業的朋友對MEMS都具備一定認識。在往期文章中,小編對MEMS交換、MEMS封裝等有所介紹。為增進大家對MEMS的了解程度...
MEMS傳感器即微機電系統(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經...
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