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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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實際上,早在1951年,Chang和Read就在金鎳合金中觀察到了形變再加熱能變回原形的這一奇特的現象。Buehler在上世紀60年代發現了NiTi合金...
傳統機械加工方法指利用大機器制造小機器,再利用小機器制造微機器。可以用于加工一些在特殊場合應用的微機械裝置,例如微型機械手、微型工作臺等。
加速度是描述物體速度變化快慢的物理量,通過測量由于重力引起的加速度,你可以計算出設備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態加速度,你可以分析出設備移動的方式。
汽車內的顯示和信息系統非常豐富,層出不窮地包圍著我們,有些信息非常重要,有些則是為了舒適性或娛樂,有的則僅僅是提供資訊,這很有價值,但又非必需。作為一名...
SPI至RS-422/RS-1設計解決方案的詳細物理層設計注意事項
為MEMS實現有線物理層接口的常見挑戰包括管理EMC魯棒性和數據完整性。然而,當在長RS-485/RS-422電纜上擴展時鐘同步接口(如SPI)時,以及...
目前,氣體傳感器的應用日趨廣泛,在物聯網等泛在應用的推動下,其技術發展方向開始向小型化、集成化、模塊化、智能
MEMS生物微針技術出現了并不是很長的時間,下面就微針較為廣泛的三個方面的應用原理及當前該技術的最新進展進行闡述。
想象一下,你的汽車遮陽板上夾著一個后裝的平視顯示(HUD)產品,它能夠將行駛方向投射到擋風玻璃上。再試想一下,你的一臺內置微型投影儀的平板電腦,使你能夠...
在上一期的小課堂,《聲光偏轉器及其應用連載一:聲光偏轉器原理》中我們詳細的介紹了聲光偏轉器的相關基礎理論和主要性能指標,這一期的連載我們來談一談聲光偏轉...
麥姆斯咨詢:MEMS設計與IC不同,其可廣泛應用于機械、光學、磁場、流體和生物學領域,因而所使用的幾何形狀也就千變萬化,較為繁復。
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