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工藝

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工藝技術

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2022-04-15 標簽:工藝晶片刻蝕 3216 0

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2022-04-14 標簽:工藝氮化鎵蝕刻 1614 0

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2022-04-13 標簽:工藝晶片 6190 0

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近年來,作為取代SPM(硫酸/過氧化氫)清洗的有機物去除法,通過添加臭氧的超純水進行的清洗受到關注,其有效性逐漸被發現。在該清洗法中,可以實現清洗工序的...

2022-04-13 標簽:工藝硅片清洗 2712 0

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2022-04-07 標簽:工藝刻蝕 3223 0

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