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標(biāo)簽 > 反應(yīng)離子刻蝕
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純化學(xué)刻蝕、純物理刻蝕及反應(yīng)式離子刻蝕介紹
刻蝕有三種:純化學(xué)刻蝕、純物理刻蝕,以及介于兩者之間的反應(yīng)式離子刻蝕(ReactiveIonEtch,RIE)。
2023-02-20 標(biāo)簽:PVD反應(yīng)離子刻蝕 4564 0
簡要說明濕法蝕刻和干法蝕刻每種蝕刻技術(shù)的特點(diǎn)和區(qū)別
蝕刻不是像沉積或鍵合那樣的“加”過程,而是“減”過程。另外,根據(jù)刮削方式的不同,分為兩大類,分別稱為“濕法蝕刻”和“干法蝕刻”。簡單來說,前者是熔法,后...
2023-01-29 標(biāo)簽:反應(yīng)離子刻蝕 7206 0
工藝參數(shù)對微溝槽缺陷形成的影響并改進(jìn)微溝槽缺陷
隨著集成電路密度的不斷提高,多晶硅柵的線寬不斷變小,柵氧化層的厚度繼續(xù)變薄,多晶硅的刻蝕變得越來越關(guān)鍵。多晶硅柵的形貌控制,柵氧化層二氧化硅的損失等關(guān)鍵...
2017-12-20 標(biāo)簽:集成電路制造反應(yīng)離子刻蝕 5026 0
炬光科技加大瑞士投資,強(qiáng)化微納光學(xué)產(chǎn)能與研發(fā)
西安炬光科技近日宣布了一項(xiàng)重大戰(zhàn)略舉措:公司將進(jìn)一步加大在瑞士的投資力度。此次投資旨在提升高精度光刻-反應(yīng)離子蝕刻微納光學(xué)的前端產(chǎn)能,并同步增強(qiáng)其前沿研...
2025-02-11 標(biāo)簽:炬光科技反應(yīng)離子刻蝕 437 0
責(zé)任編輯:xj 原文標(biāo)題:芯片解剖,逐層剝離 文章出處:【微信公眾號:上海季豐電子】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。
2020-09-27 標(biāo)簽:芯片反應(yīng)離子刻蝕 2566 0
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