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      電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>基于共聚焦顯微技術的共焦顯微鏡的原理及其應用

      基于共聚焦顯微技術的共焦顯微鏡的原理及其應用

      2023-02-15 | docx | 0.26 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      基于共聚焦顯微技術的共焦顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術，它通過數碼相機針孔的高強度激光來實現數字成像，具有很強的縱向深度的分辨能力。

       

      成像原理

      共焦顯微鏡裝置是在被測對象焦平面的共軛面上放置兩個小孔，其中一個放在光源前面，另一個放在探測器前面，如圖所示。

      共焦顯微鏡光路示意圖

       

      得到的圖像是來自一個焦平面的光通過針孔數碼相機聚焦拍攝，通過所累積的不同焦平面的圖像序列，使用軟件編譯完整的 3d 圖像。

       

      能測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數，對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

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