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為確保大功率汞燈曝光系統(tǒng)能夠穩(wěn)定、安全可靠地運(yùn)行，設(shè)計(jì)了一套較為完善的汞燈電源測(cè)控系統(tǒng)。采用適合強(qiáng)電磁干擾環(huán)境下的磁平衡電壓電流傳感器及相應(yīng)信號(hào)處理電路；選用基于鉑熱電阻傳感器Pt100的三線制恒電流激勵(lì)溫度信號(hào)檢測(cè)線路；采用高線性光耦HCNR200構(gòu)成模擬信號(hào)高電壓隔離放大器輸出控制信號(hào)；采用模擬PID控制與數(shù)字控制相結(jié)合的方式實(shí)現(xiàn)恒電流、恒功率控制；給出了采用模擬乘法器計(jì)算功率信號(hào)并進(jìn)行負(fù)載線路功率損耗補(bǔ)償?shù)姆椒ā?shí)驗(yàn)結(jié)果表明，該系統(tǒng)恒電流控制穩(wěn)定性達(dá)±0.05%，恒功率控制穩(wěn)定性達(dá)±0.5%。
- Abstract:
- ?For ensure stability， credibility and safety of exposure system for high power mercury lamp， perfect relatively power supply system on measuring and controlling for mercury lamp was designed. Magnetism balance voltage and current sensor and it’s signal disposal circuit in the condition of strong electromagnetism turbing were adopted， temperature signal detect circuitry powered by three lines constant current and based platinum resistance sensor Pt100 was selected， analog controlling signal outputted by high voltage insulation and amplifier constituted by high linearity light-coupling HCNR200 was adopted， at the same time， the constant current and power were achieved by associative controlling mode of analog PID and digital， finally， the system adopted simulation multiplication to calculate power signal and introduced the method on power wastage compensatory for load circuitry. Experiment result indicates that the constant current stability reaches ±0.05%，and constant power stability reaches ±0.5%.
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