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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>八梁硅微加速度傳感器橫向靈敏度的研究

      八梁硅微加速度傳感器橫向靈敏度的研究

      2009-12-12 | rar | 224 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      一般的壓阻式硅微加速度傳感器結構多采用懸臂梁加質量塊的形式, 這種結構的
      傳感器有很高的靈敏度, 但它會產生很高的橫向效應。文中介紹一種八梁結構的三軸加速度傳感器, 通過用ANSYS有限元分析軟件仿真計算, 說明該結構的加速度傳感器具有很小的橫向效應。
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