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傳統的金屬氧化物氣體傳感器通常用于測量可燃性烴類氣體和其他有毒氣體。但是,
他們存在兩種缺陷,即(a)較高的工作溫度(不小于300℃)及(b)較大的功耗(大于1 瓦)。正在研制的硅材料微型金屬氧化物氣體傳感器克服了這些缺陷。微機械氣體傳感器的大部分功耗包括各種通過硅襯底傳導的熱損失,通過所有接觸面和輻射向空氣中傳送。微機械金屬氧化物系氣敏元件的熱特性要針對低功耗進行優化，通過傳感層和瞬態響應適當的控制溫度分布。但是MEMS 金屬氧化物氣體傳感器中的微加熱器還沒有得到優化。在本文中,我們已經研究出一種方法(軟件)用于設計和優化MEMS 氣體傳感器中的微加熱器。使用這一軟件,可以估算達到某一溫度所需功率以及活躍層的溫度分布。
他們存在兩種缺陷,即(a)較高的工作溫度(不小于300℃)及(b)較大的功耗(大于1 瓦)。正在研制的硅材料微型金屬氧化物氣體傳感器克服了這些缺陷。微機械氣體傳感器的大部分功耗包括各種通過硅襯底傳導的熱損失,通過所有接觸面和輻射向空氣中傳送。微機械金屬氧化物系氣敏元件的熱特性要針對低功耗進行優化，通過傳感層和瞬態響應適當的控制溫度分布。但是MEMS 金屬氧化物氣體傳感器中的微加熱器還沒有得到優化。在本文中,我們已經研究出一種方法(軟件)用于設計和優化MEMS 氣體傳感器中的微加熱器。使用這一軟件,可以估算達到某一溫度所需功率以及活躍層的溫度分布。
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