利用微機械加工技術(shù)、各向異性腐蝕技術(shù)研制了具有三維結(jié)構(gòu)的微腔型傳感器,微芯片; 3×6mm 2G具有三維腔體; 腔深300LmK鉑工作電極1. 21. 2mm 2KA g?A gCl 參比GK工作電極與A g?A gCl 參比集成在同一微芯片上.作者對微腔型電極進行了電化學特性的表征K并測試了微芯片上A g?A gCl 參比電極的性能,考察了微腔型傳感器在化學傳感器、生物傳感器方面的初步應用,對H2O2K半乳糖進行檢測.
80 年代以來,利用微電子技術(shù)和微機械加工技術(shù)研制開發(fā)高度集成化、微型化、智能化的化學傳感器、生物傳感器K并將其應用于臨床診斷、發(fā)酵控制、環(huán)境檢測等領(lǐng)域已成為令人關(guān)注的研究方向.國內(nèi)外學者首先開發(fā)研究了基于二維結(jié)構(gòu)的平面微型電極.近年來,逐漸有基于三維結(jié)構(gòu)的微腔型電極的研究報道[ 1K2 ].微腔型電極具有平面電極難以比擬的優(yōu)點,它提供了一個穩(wěn)定的微區(qū)環(huán)境,信號干擾減小K制作化學傳感器、生物傳感器不需經(jīng)過復雜的表面處理而能較好地進行固定化,并能保護酶膜K增加微型傳感器的壽命,等等.作者采用微機械加工技術(shù)、各向異性腐蝕技術(shù)制作了具有三維結(jié)構(gòu)的微腔型傳感器,微芯片具有三維腔體; 腔深300LmK鉑工作電極1. 2×1. 2mm2KA g?A gCl 參比電極)工作電極與A g?A gCl參比電極集成在同一微芯片上,對微腔型電極進行了電化學特性的表征。并利用微腔型電極對溶液中的H2O2 量進行檢測.還考察了基于微腔型傳感器的半乳糖酶傳感器的一些性能.為進一步研制性能良好的微腔型傳感器及其在生物傳感器、化學傳感器方面的應用提供依據(jù).