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組建了一套用于半導體氣體傳感器的程控標定系統。該系統使用一臺四路輸出的程控直流電源對半導體氣體傳感器進行編程加熱,計算機控制質量流量計實現低體積分數被測氣體的精確配氣并實時采集傳感器的響應信號。該系統可對由四支氣體傳感器構成的陣列進行多種工作模式的標定。
關鍵詞: 半導體氣體傳感器; 標定; 程控系統; 質量流量控制器; 通用接口總線
Abstract : A programmable calibration system for semiconductor gas sensors is constructed , in which a pro2 grammable DC power supply with four output channels is used to heat up gas sensors. A computer is used to con2 trol MFCs to accurately offer testing gases in low concentrations ,and to collect the responses of gas sensors in real time. The system can calibrate a sensor array consisted of four sensors operated in different model at the same
time.
Key words : semiconductor gas sensor ; calibration ; programmable system; mass flow controller (MFC ) ; gener2 al purpose interface bus( GPIB)
關鍵詞: 半導體氣體傳感器; 標定; 程控系統; 質量流量控制器; 通用接口總線
Abstract : A programmable calibration system for semiconductor gas sensors is constructed , in which a pro2 grammable DC power supply with four output channels is used to heat up gas sensors. A computer is used to con2 trol MFCs to accurately offer testing gases in low concentrations ,and to collect the responses of gas sensors in real time. The system can calibrate a sensor array consisted of four sensors operated in different model at the same
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