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科學(xué)技術(shù)向微小領(lǐng)域發(fā)展，由毫米級(jí)、微米級(jí)繼而涉足納米級(jí)，人們把這個(gè)領(lǐng)域的技術(shù)稱之為微米以納米技術(shù)。微米以納米技術(shù)使人類在認(rèn)識(shí)和改造自然方面進(jìn)入一個(gè)新的層次，開發(fā)物質(zhì)潛在的信息和結(jié)構(gòu)能力，使單位體積信息處理和運(yùn)動(dòng)控制的能力實(shí)現(xiàn)又一次飛躍。將在信息、材料、生物醫(yī)療、航空航天和工業(yè)等方面產(chǎn)生重大影響。微型機(jī)電系統(tǒng)（M EMS）是其中的一個(gè)新興的高科技領(lǐng)域，提到它就會(huì)聯(lián)想到微電子技術(shù)。當(dāng)前“奔騰Ⅲ”的一片芯片上就有950萬個(gè)晶體管。微電子器件的開關(guān)速度受電子傳輸路徑長(zhǎng)度的限制，其微型化要求迫切。美國規(guī)劃微電子線寬由1998年的Q 2um、2001年的Q 18um，發(fā)展到2010年的Q 07um，科學(xué)家還要進(jìn)一步突破其極限。微電子技術(shù)的另一重大貢獻(xiàn)是在其基礎(chǔ)上發(fā)展了M EM S。一般M EM S是基于硅材料技術(shù)的。硅的機(jī)械和電子性能好，已有的微加工技術(shù)和設(shè)備還在發(fā)展，微電子和微機(jī)械的集成化潛力巨大。
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