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提出了一種基于結(jié)構(gòu)組件庫的MEMS概念設(shè)計方法。給出了結(jié)構(gòu)組件的表征形式,探討了基于功能分解的結(jié)構(gòu)組件模型獲取方法,借以形成支持概念設(shè)計的結(jié)構(gòu)組件模型庫。闡明了MEMS概念設(shè)計時如何通過行為匹配自動檢索出相關(guān)組件及其行為鏈組合、通過對行為鏈組合進行功能結(jié)構(gòu)細化獲得備選的器件方案。結(jié)合航空及空氣動力學領(lǐng)域急需的MEMS微型剪應(yīng)力傳感器實例對該概念設(shè)計方法進行了闡述。研究表明,該方法對于提高MEMS概念設(shè)計效率及方案創(chuàng)新能力、促進MEMS概念設(shè)計工具化有積極作用。
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