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近年來，大氣壓非平衡等離子體因其獨特的優(yōu)勢受到越來越多的關注。由于它是在周圍的大氣中進行放電的低溫等離子體使得原來比較難以實現(xiàn)的應用變?yōu)楝F(xiàn)實，比如生物醫(yī)學；同時，大氣壓非平衡等離子體去除了昂貴且極其繁瑣的真空系統(tǒng)，使得它的成本大大降低，其中一個非常重要的應用就是材料表面改性。
介質阻擋放電（ Dielectric Barrier Discharge，DBD）等離子體因其能夠在大氣壓下產(chǎn)生大面積均勻輝光放電或者是湯森放電而極具工業(yè)應用價值。其最終應用效果與等離子體特性密切相關，而等離子體特性主要由其激勵電源決定。一般情況下，產(chǎn)生DBD等離子體的電源主要采用交流高壓激勵，但是要想獲得均勻放電，對介質材料、電源頻率、氣隙結構都有很高的要求。隨著脈沖功率技術的發(fā)展，研究發(fā)現(xiàn)當采用ns脈沖電壓驅動代替?zhèn)鹘y(tǒng)的交流驅動時，快速上升的電壓能夠迅速電離氣體，流注發(fā)展時間短，可有效抑制放電向火花或者弧光模式轉變，因此它使得人們能夠在更大的參數(shù)范圍內(nèi)獲得均勻的非平衡等離子體。
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