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      半導體業(yè)用高效精密磨具的國產(chǎn)化進程

      2009-12-19 | rar | 444 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      半導體業(yè)用高效精密磨具的國產(chǎn)化進程
      劉明耀 1 , 2 陳峰 1 , 2 邱麗花 1 , 2
      （1、鄭州磨料磨具磨削研究所 2、國家超硬材料及制品工程技術(shù)研究中心河南 鄭州 450013）
      摘 要 本文介紹了“十五”以來半導體行業(yè)高效精密加工用金剛石磨具以及相關(guān)配套產(chǎn)品的國產(chǎn)化情況，包括產(chǎn)品品種、型號規(guī)格、應用實例等。
      關(guān)鍵詞 半導體；集成電路；分立器件；砂輪；超薄；減薄；吸盤；修整板
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