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使用信號(hào)調(diào)理 IC 驅(qū)動(dòng)應(yīng)變計(jì)橋式傳感器

1857383 2022-11-18 | pdf | 145.24KB | 次下載 | 免費(fèi)

資料介紹

可用的應(yīng)變片具有大范圍的零應(yīng)變電阻。傳感器材料和技術(shù)所占范圍很廣，但有幾個(gè)值（如 120Ω 和 350Ω）已通過廣泛使用而變得突出。過去，標(biāo)準(zhǔn)值通過允許輕松連接到包含匹配輸入電阻網(wǎng)絡(luò)的基本磁偏轉(zhuǎn)計(jì)來簡化應(yīng)變測(cè)量。可用的應(yīng)變片具有大范圍的零應(yīng)變電阻。傳感器材料和技術(shù)所占范圍很廣，但有幾個(gè)值（如 120Ω 和 350Ω）已通過廣泛使用而變得突出。過去，標(biāo)準(zhǔn)值通過允許輕松連接到包含匹配輸入電阻網(wǎng)絡(luò)的基本磁偏轉(zhuǎn)計(jì)來簡化應(yīng)變測(cè)量。箔規(guī)的類型和組成箔規(guī)的類型和組成箔片制造采用有限數(shù)量的合金，選擇這些合金是為了最大限度地減少應(yīng)變片溫度系數(shù)與應(yīng)變材料之間的差異。鋼、不銹鋼和鋁構(gòu)成了大部分傳感器材料。鈹銅、鑄鐵和鈦也被使用，但“大多數(shù)”合金推動(dòng)了溫度兼容應(yīng)變片的大批量、低成本制造。350Ω 康銅箔應(yīng)變片可能是最常見的。箔片制造采用有限數(shù)量的合金，選擇這些合金是為了最大限度地減少應(yīng)變片溫度系數(shù)與應(yīng)變材料之間的差異。鋼、不銹鋼和鋁構(gòu)成了大部分傳感器材料。鈹銅、鑄鐵和鈦也被使用，但“大多數(shù)”合金推動(dòng)了溫度兼容應(yīng)變片的大批量、低成本制造。350Ω 康銅箔應(yīng)變片可能是最常見的。厚膜和薄膜儀表的可靠性和易于制造對(duì)汽車應(yīng)用很有吸引力，通常在表面沉積有絕緣材料的陶瓷或金屬基板上生產(chǎn)。測(cè)量材料通過氣相沉積工藝沉積在絕緣層的頂部。傳感規(guī)和互連線通過激光汽化或光掩模和化學(xué)蝕刻技術(shù)雕刻到金屬中。有時(shí)會(huì)添加一個(gè)保護(hù)絕緣層來保護(hù)儀表和互連。厚膜和薄膜儀表的可靠性和易于制造對(duì)汽車應(yīng)用很有吸引力，通常在表面沉積有絕緣材料的陶瓷或金屬基板上生產(chǎn)。測(cè)量材料通過氣相沉積工藝沉積在絕緣層的頂部。傳感規(guī)和互連線通過激光汽化或光掩模和化學(xué)蝕刻技術(shù)雕刻到金屬中。有時(shí)會(huì)添加一個(gè)保護(hù)絕緣層來保護(hù)儀表和互連。儀表材料通常包括專有的金屬混合物，選擇用于產(chǎn)生所需的儀表電阻、電阻隨應(yīng)力的變化，以及（為了溫度穩(wěn)定性）傳感器和基底金屬之間的最佳溫度系數(shù)匹配。為該技術(shù)開發(fā)了 3kΩ 至 30kΩ 的標(biāo)稱壓力計(jì)和電橋電阻，該技術(shù)已用于制造壓力和力傳感器。儀表材料通常包括專有的金屬混合物，選擇用于產(chǎn)生所需的儀表電阻、電阻隨應(yīng)力的變化，以及（為了溫度穩(wěn)定性）傳感器和基底金屬之間的最佳溫度系數(shù)匹配。為該技術(shù)開發(fā)了 3kΩ 至 30kΩ 的標(biāo)稱壓力計(jì)和電橋電阻，該技術(shù)已用于制造壓力和力傳感器。電橋激勵(lì)技術(shù)電橋激勵(lì)技術(shù)惠斯通電橋通常用于基于箔、薄膜或厚膜的應(yīng)變計(jì)傳感器。惠斯通電橋?qū)?yīng)變計(jì)的應(yīng)變感應(yīng)電阻變化轉(zhuǎn)換為差分電壓（惠斯通電橋通常用于基于箔、薄膜或厚膜的應(yīng)變計(jì)傳感器。惠斯通電橋?qū)?yīng)變計(jì)的應(yīng)變感應(yīng)電阻變化轉(zhuǎn)換為差分電壓（圖 1圖 1）。）。在+Exc 和-Exc 端子上施加激勵(lì)電壓后，在+V OUT在+Exc 和-Exc 端子上施加激勵(lì)電壓后，在+V OUT